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磁性微粒子を用いた触媒化学加工方法及び装置

シーズコード S110005300
掲載日 2011年1月11日
研究者
  • 久保田 章亀
技術名称 磁性微粒子を用いた触媒化学加工方法及び装置
技術概要 マグネット定盤4は、加工槽3の底面部と一体的に設けられ、加工槽3を底面部の回転軸5で回転させる構造である。マグネット定盤4は、永久磁石を加工槽3の底面部に固定して構成する。ここで、加工槽3及びホルダー8は、マグネット定盤4の磁力線を乱さないようにするために、非磁性体材料で作製することが好ましい。そして、加工槽3の底面部内に、マグネット定盤4に平行に、表裏方向へ磁化した永久磁石板10あるいは鉄等の強磁性体板を配して、マグネット定盤4による磁場強度を増強することも好ましい。このように、酸化剤2を満たした加工槽3内で、マグネット定盤4の表面に、磁性微粒子9を適量振り掛けると、磁性微粒子9は磁力線密度分布に沿って整列し、隣接する磁性微粒子列は同極となるので互に反発し合い、穂立ちのように自立する。この状態で、被加工物7を保持したホルダー8を上方から降下させ、被加工物7が磁性微粒子9の穂立ちの先端部に接触するように位置設定し、それから加工槽3と共にマグネット定盤4を回転、揺動させるとともに、ホルダー8を回転させる。
画像

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研究分野
  • 特殊加工
  • 磁性材料
展開可能なシーズ 被加工物表面に格子欠陥が導入されない化学的な反応が可能な触媒作用を利用した加工原理に基づき、結晶学的に優れた加工面が得られる磁性微粒子を用いた触媒化学加工方法及び装置を提供する。
定盤に磁場により拘束し、空間的に制御された遷移金属の磁性微粒子を被加工物の被加工面に極低荷重のもとで接触させるので、被加工面に磁性微粒子によるスクラッチは全く生じず、微粒子表面で酸化剤から生成された強力な酸化力をもつ活性種を、微粒子に接触した被加工物の極近傍の表面原子と化学反応させ、それにより生成した化合物を除去、あるいは溶出させて加工するので、結晶学的に優れた被加工面が得られる。
用途利用分野 磁性微粒子、マグネット定盤
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人 熊本大学, . 久保田 章亀, . 磁性微粒子を用いた触媒化学加工方法及び装置. 特開2008-071857. 2008-03-27
  • H01L  21/306    
  • H01L  21/304    

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