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プラズマ生成装置およびプラズマ処理製造方法

シーズコード S110005463
掲載日 2011年1月12日
研究者
  • 菅井 秀郎
技術名称 プラズマ生成装置およびプラズマ処理製造方法
技術概要 導波管20の放電容器10側には、スロットアンテナ板21が設けられる。また、スロットアンテナ板21には、複数のスロットアンテナが形成され、そのスロットアンテナを閉塞する誘電体板30が取り付けられる。誘電体板30は、例えば石英ガラスから形成される。放電容器10は、プラズマ11を内部で生成することで、被処理物としての基板15にプラズマ処理する処理台14を備える。放電容器10の側壁には、外部からガス等の媒質ガスを導入するガス供給管13および排気ポート12が設けられる。基板15は太陽光発電パネル、液晶ディスプレイパネル等の基板に使用される。このようなプラズマ処理装置においては、予め被処理物の基板15を処理台14の上に載置する。次に、排気ポート12から放電容器10内の空気を排気し、減圧する。また、ガス供給管13からガスを導入する。発振器により生成されたマイクロ波が導波管20から導入される。マイクロ波は、マイクロ波透過窓のスロットアンテナから誘電体板30を透過して放電容器10内に導入される。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
  • 気体放電
展開可能なシーズ 生産性を落とすことなく、イオン照射ダメージを抑制し、放電容器内部でプラズマを生成することができる優れたプラズマ生成装置およびプラズマ処理製造方法を提供する。
生産性を落とすことなく、イオン照射ダメージを抑制し、放電容器内部でプラズマを生成することができ、例えば、太陽光発電パネル、液晶ディスプレイパネル等の製造等に用いられる。
用途利用分野 スロットアンテナ板、誘導体板、太陽光発電パネル、液晶ディスプレイパネル
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人名古屋大学, . 菅井 秀郎, . プラズマ生成装置およびプラズマ処理製造方法. 特開2007-184259. 2007-07-19
  • H05H   1/46     

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