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微小移動体装置およびその製造方法

シーズコード S110005533
掲載日 2011年1月12日
研究者
  • 辻 裕一
  • 伊藤 来
  • 龍崎 晋
技術名称 微小移動体装置およびその製造方法
技術概要 移動体装置は、少なくとも第1の弾性層20と第2の弾性層21とから構成され、湾曲し、凹面側が載置面に面して載置される湾曲部材2と、この湾曲部材2にレーザ光Lを照射する光源3と、を備える。第1の弾性層がフォトレジストであり、第2の弾性層が金属である。また、その金属がアルミニウムである。光源がレーザダイオードを含んでいると、湾曲部材にレーザ光を容易に照射することができる。光源が、湾曲部材に照射される光の強度を変調する変調器を更に含んでいれば、湾曲部材の振動を容易に発生させることができる。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • レーザ一般
展開可能なシーズ 熱変形素子が発生する衝撃力に依らず、かつ、駆動力が非接触で提供されて移動することができる移動体装置を提供する。光の照射により生じる熱を利用して動作する微小移動体装置を提供する。
いわゆる光熱駆動型の自走式マイクロマシンのコア技術として種々の分野での利用が可能である。具体的には、計測器機、医療機器、工作機器への応用が可能であり、特に計測器機分野への利用が見込まれる。
用途利用分野 熱変形素子
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京電機大学, . 辻 裕一, 伊藤 来, 龍崎 晋, . 微小移動体装置およびその製造方法. 特開2008-057470. 2008-03-13
  • F03G   7/06     
  • B81B   3/00     

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