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表面情報取得装置及び表面情報取得方法

シーズコード S110005552
掲載日 2011年1月12日
研究者
  • 伊藤 研策
技術名称 表面情報取得装置及び表面情報取得方法
技術概要 表面から所定距離離れて浮遊するプローブ粒子Pを用いて試料Sの表面情報を取得する表面情報取得装置1Aである。光源2と、プローブ粒子Pの像(プローブ像)を得る結像装置3と、プローブ像を撮像してプローブ画像を得る撮像装置4と、プローブ画像からプローブ粒子Pの位置情報を取得し、位置情報から試料Sの表面情報を取得する画像処理装置10とを備える。画像処理装置10は、予め格納されたプローブ画像におけるプローブ粒子Pの大きさを規定する値である直径とプローブ粒子Pの試料S表面からの距離との関係を示す校正データと撮像装置4によって撮像されたプローブ粒子Pの直径とに基づいて、プローブ粒子Pの位置情報を得る。プローブ粒子は、同符号で荷電している。プローブ粒子が球体である。プローブ粒子を照射する光を出力する光源をさらに備える。これにより、試料表面上に液体あるいは気体が存在し液体等が流動している場合であっても、プローブ粒子は浮遊しているため、流動によって妨げられることなく試料の表面情報を取得することが可能となる。
画像

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研究分野
  • 光学顕微鏡,望遠鏡
  • 図形・画像処理一般
展開可能なシーズ 試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供する。
光源を有さず、例えばプローブ粒子P自身が蛍光を発光し、その像を撮像して試料Sの表面情報を取得してもよい。光源に限定はなく、可視光、紫外線、赤外線、X線、電子線、あるいは中性子線など、どのような波長の光を出す光源であってもよい。結像装置としては、光学顕微鏡に限らず、例えば望遠鏡、カメラ、虫眼鏡、あるいは電子顕微鏡等であってもよい。
用途利用分野 原子間力顕微鏡、マイクロ電極走査
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人富山大学, . 伊藤 研策, . 表面情報取得装置及び表面情報取得方法. 特開2008-015280. 2008-01-24
  • G02B  21/00     

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