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高温度安定性マイクロ磁気センサ

シーズコード S012000153
掲載日 2002年1月29日
研究者
  • 毛利 佳年雄
研究者所属機関
  • 名古屋大学 大学院工学研究科
研究機関
  • 名古屋大学 工学研究科
技術名称 高温度安定性マイクロ磁気センサ
技術概要 この新技術は、微小磁界を温度安定性が高く、高感度・高速応答で検出する磁気インピーダンス効果マイクロ磁気センサに関するものであって、この磁気インピーダンス(MI)効果マイクロ磁気センサは、フラックスゲートセンサに比べて磁界検出感度は同程度、ヘッド寸法は約1/30(1~2mm)、応答速度は1000倍(約1MHz)であり、高感度・高速応答の新しいマイクロ磁気センサ(消費電力は約10mW)として、実用化が多方面で始まっている。しかし自動車やロボットなどの温度変動が激しい分野では、センサの温度安定性が不十分である。本発明では、従来のMIセンサのショットキーバリアダイオードの代りにアナログスイッチを用いたバイアス磁界も不要の温度安定性の高いMIセンサを実現した。以上の通りであるから、次のような効果を奏する。(A)温度特性の安定化を図るとともに消費電力を減少させる(B)負帰還効率のよい、直線性の良いヒステリシスのない磁界センサ特性を得る(C)コモンモード桐殺効果による温度安定性の向上を図る など3点を挙げることができる。
画像

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従来技術、競合技術の概要 従来の磁気インピーダンス効果マイクロ磁気センサは、検波用にショットキーバリアダイオードなどの高周波用ダイオードを使用しているため、例えば、自動車分野などへの応用に際して、センサの環境温度が大幅に変動する環境下では直流出力電圧が変動するという温度特性の不安定性がある。また従前のMIセンサでは、ヘッドにバイアス磁界を印加してリニア磁界センサを構成するため、消費電力が大きいという欠点があった。
研究分野
  • 金属材料
  • 磁気の計測法・機器
  • 電動機
展開可能なシーズ (1)磁気インピーダンス効果マイクロ磁気センサ
用途利用分野 自動車用
工業用ロボット・モータ制御
情報・家電機器、計測用
関連発表論文 (1)CAI C M, 毛利佳年雄, 吉永輝政. アモルファスワイヤとCMOS ICによる周波数変調無線形MI磁気センサ. 日本応用磁気学会誌. vol.24,no.4‐2,2000,p.767‐770.
(2)毛利佳年雄. MIマイクロ磁気センサの開発システム 産学官連携のありかた. 日本応用磁気学会誌. vol.23,no.8,1999,p.1887‐1894.
(3)高山昭夫, 梅原多美雄, 湯口昭代, 加藤英樹, 内山剛, 毛利佳年雄. コイル一体・差動駆動型薄膜MIセンサヘッドを用いた磁気センサの感度特性. 日本応用磁気学会誌. vol.24,no.4‐2,2000,p.763‐766.
(4)内山剛, 毛利佳年雄, PANINA L V. MIマイクロ磁気センサの開発動向. 電気学会マグネティックス研究会資料. vol.MAG‐98,no.238‐253,1998,p.65‐70.
(5)毛利佳年雄, 内山剛, 金重慶一, POLMAI S, 犬塚勝美. MIセンサ内蔵2次電流信号帰還形高精度誘導モータ制御系. 電気学会マグネティックス研究会資料. vol.00,no.1‐8,2000,p.7‐12.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 毛利 佳年雄, . 磁気インピーダンス効果マイクロ磁気センサ. 特開2000-258517. 2000-09-22
  • G01R  33/02     

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