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成膜装置及び成膜方法 新技術説明会

シーズコード S110005612
掲載日 2011年1月12日
研究者
  • 岩田 太
  • 山本 龍二
  • 佐々木 彰
技術名称 成膜装置及び成膜方法 新技術説明会
技術概要 液中にて被成膜基板2上に金属膜3を成膜する成膜装置1であって、被成膜基板2(ITOガラス)上に液体W(純水)を介在させた状態で、対向配置される、対向面4a(カバーガラス)に予め金属層5が形成された対向基板4(カバーガラス)と、被成膜基板2と金属層5との間に所定電圧値以上の電圧を印加して、金属層5から金属微粒子5a(金微粒子)を被成膜基板2に向けて電気泳動により移動させると共に、金属微粒子5aを被成膜基板2上に堆積させることで金属膜3を成膜する電圧印加手段6とを備える。液体W内に予め投入された微小物質P(ポリスチレン微粒子)をレーザ光の光放射圧によって捕捉する光学系11と、光学系11で捕捉された微小物質Pが被成膜基板2上の所定位置に近接したときに、小さい電圧値で電圧印加を行わせて、微小物質Pを被成膜基板2上に引き寄せて固定させ、その後、微小物質Pが固定された被成膜基板2上に金属膜3を成膜させる電圧印加手段6の制御を行っている。
画像

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研究分野
  • クロマトグラフィー,電気泳動
  • 薄膜成長技術・装置
  • 金属薄膜
展開可能なシーズ 液体の種類に限定されずに、容易且つ確実に液中で金属膜を成膜することができると共に、微小物質等の試料の固定が可能な成膜方法及びその成膜装置を提供する。
電界が形成できる液体であれば、成膜を行えるので、汎用性が高く、様々な分野への応用を期待することができる。また、単に液中環境にするだけで成膜を行うことができるので、低コスト化ができる。バイオ試料に何ら影響を与えることなく、生に近い状態で容易に大気中に取り出すことができる。従って、生体細胞や微生物等を基板に配列固定させるなど、顕微鏡観察や標本作製への応用も可能である。
用途利用分野 バイオ試料標本、生体細胞標本、微生物標本
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人静岡大学, . 岩田 太, 山本 龍二, 佐々木 彰, . 成膜装置及び成膜方法. 特開2008-057011. 2008-03-13
  • C25D  13/02     
  • C25D  15/02     

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