TOP > 技術シーズ検索 > 機械電気変換素子及びその製造方法

機械電気変換素子及びその製造方法

シーズコード S110005687
掲載日 2011年1月14日
研究者
  • 蔭山 健介
技術名称 機械電気変換素子及びその製造方法
技術概要 平坦な振動面を有する導電体からなる振動子(振動板)14と、振動子(振動板)の振動面に対向した平坦な第1主面及びこの第1主面に平行に対向する第2主面で定義され、分極方向を揃えた誘電分極板13と、誘電分極板13の第2主面に接合された背面電極12と、振動子(振動板)14と背面電極12間に振動面の変位に伴い誘導される電荷を測定する誘導電荷測定手段(21,9)とを備えるマイクロフォンカプセルである。ここで、誘導電荷測定手段(21,9)は、背面電極12に接続された増幅器(FET)21と、増幅器(FET)21に接続された出力回路9を備える。室温で分極量が最大となる誘電分極板13を使用した例であるが、ペロブスカイト型化合物のような3元系若しくは4元系以上の化合物からなる混晶の強誘電体は、その組成を制御することにより、分極量が最大となる温度を変化させることが可能である。したがって、加熱・冷却により荷電粒子を吸着させるようにしても良い。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2006-124251.gif
研究分野
  • 圧電デバイス
展開可能なシーズ 製造コストが低く、耐熱性が高く、小型化が容易で、且つ動作の安定性の高い機械電気変換素子及びその製造方法を提供する。
室温で、誘電分極板の表面の荷電粒子が除電された状態で、振動子の振動による電極間の帯電状態を測定するようにすることも可能である。キュリー温度の高い強誘電体を用いて、キュリー温度近傍まで加熱して製造すれば、キュリー温度近傍までの高温でも使用可能であるので、耐熱性の高い機械電気変換素子が得られる。
用途利用分野 電気音響変換素子、ダイナミックマイクロフォン、エレクトレットコンデンサマイクロフォン
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, . 蔭山 健介, . 機械電気変換素子及びその製造方法. 特開2007-298297. 2007-11-15
  • G01H  11/06     
  • H04R  19/01     
  • H04R  19/04     
  • H01G   7/02     

PAGE TOP