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微細加工ガラス及びその加工法

シーズコード S110005697
掲載日 2011年1月14日
研究者
  • 小松 高行
  • 本間 剛
  • 紅野 安彦
  • 藤原 巧
技術名称 微細加工ガラス及びその加工法
技術概要 ガラス材料の加工法は、SiO、GeO、B、P、TeO、Ga、MoO及びWOから選ばれるガラス形成酸化物と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移元素及び希土類元素から選ばれる少なくとも1種とを含有するガラス母体に、チタン、鉄、ニッケル、コバルト、マンガン、バナジウム、銅から選ばれる少なくとも1種を添加してなるガラス1の表面または内部に、局所的な異質層を形成した後、エッチング剤と接触させて異質層または異質層の周囲部分を除去する。異質層として、レーザ照射により、ガラス組成の異なる領域、クラック、屈折率の異なる領域、結晶化領域または相分離領域を形成する。なお、ガラス1において、これら各成分の組み合わせには制限はなく、使用する用途に応じで任意の組成を選択することが好ましい。また、ガラス1は、一般のガラスに含まれるその他の成分を含んでもよい。更に、ガラス1は、ガラス転移温度が250~750℃となるようなガラス組成であることが好ましい。
画像

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研究分野
  • ガラスの製造
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ ガラスの表面または内部に対し微細なパターンを高精度で効率良く、低コストで形成するガラス材料の加工法および加工法による微細加工ガラスを提供する。
フォトリソグラフィー等の複雑な工程を経ないで微細加工が可能である。また、微細加工ガラスは光導波路、フォトニック結晶素子、ディスプレイパネル基板等の電子部品、光学部品に供することができる。
用途利用分野 光導波路、フォトニック結晶素子、ディスプレイパネル基板
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人長岡技術科学大学, . 小松 高行, 本間 剛, 紅野 安彦, 藤原 巧, . ガラス材料の加工法. 特開2008-019123. 2008-01-31
  • C03C  15/00     
  • C03C  23/00     
  • C03C  14/00     
  • G02B   6/13     
  • G02B   6/12     
  • G02B   3/00     
  • G02B   1/02     

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