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溶液プラズマ反応装置及び該装置を使用したナノ材料の製造方法

シーズコード S110005702
掲載日 2011年1月14日
研究者
  • 新原 皓一
  • 中山 忠親
  • 江 偉華
  • 末松 久幸
  • 鈴木 常生
技術名称 溶液プラズマ反応装置及び該装置を使用したナノ材料の製造方法
技術概要 反応装置は、溶液反応槽1及びプラズマ発生電極2を具備する。プラズマ発生電極2は、中心部に配置したガス導入管3及びその周囲に配置した円柱状の電極部4により構成される。プラズマ発生電極2は、プラズマ発生により高温に加熱されるため、電極部4の中心には冷却媒体導入部5が設置され、空冷もしくは水冷等により冷却可能である。また、電極部4には、高周波電源から高周波を印加する高周波入力端子6が、電極部4の外側から中心部の空洞9に達するように設けられる。反応液8を収容した反応槽1内には、プラズマとともに照射する超音波発生装置7が設置される。このプラズマ発生電極2は、電極2の下端部を反応液8中に浸漬させた状態と、電極2の下端部を反応液8の液面から離間させた状態との間で、垂直方向に移動可能となるように構成される。この状態で、ガス導入管3からガスを導入しながら、プラズマ発生電極2に高周波入力端子6から高周波を印加すると、ガス導入管3から入ったガスが高周波入力端子6から導入された電場によりプラズマ化し、プラズマが反応槽1内の反応液8に導入され、反応液の一部が直接プラズマ化して溶液プラズマを形成する。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
  • 気体放電
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 高周波電源を用いた溶液プラズマを利用することにより、低コストで有害廃棄物の発生を防止しながらナノ材料を効率良く製造する方法及びその装置を提供する。
高周波電源を用い、特異な電極構造を有するプラズマ発生電極を用いることで高いエネルギー密度から成るプラズマを発生させ、これを反応液中へ導入することにより溶液プラズマを効率良く発生させることができる。その際に、プラズマ発生電極の位置を垂直方向に移動させることにより、高いエネルギーを有するプラズマを直接又は離して反応液に導入することができる。
用途利用分野 プラズマ発生電極、高周波電源
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人長岡技術科学大学, . 新原 ▲皓▼一, 中山 忠親, 江 偉華, 末松 久幸, 鈴木 常生, . 溶液プラズマ反応装置及び該装置を使用したナノ材料の製造方法. 特開2008-071656. 2008-03-27
  • H05H   1/24     
  • B82B   3/00     
  • B22F   9/02     
  • B22F   9/24     
  • B22F   9/14     

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