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表面粗さ評価方法および評価装置

シーズコード S110005705
掲載日 2011年1月14日
研究者
  • 井原 郁夫
  • デデン ディアン スクマナ
技術名称 表面粗さ評価方法および評価装置
技術概要 評価対象物の表面10にパルス超音波12を入射して表面10で反射するパルス超音波15のコヒーレント成分を検出する。コヒーレント成分の強度を鏡面反射におけるコヒーレント成分の強度で除して正規化した値と、パルス超音波の周波数fとから最適化手法により評価対象物の表面10の凹凸高さを求める。コヒーレント成分を広帯域静電容量型空気結合超音波センサにより検出する。評価対象物の表面に入射するパルス超音波を複数の異なる周波数により入射する。これにより、製造工程におけるリアルタイムでの表面粗さの評価が可能となる。また、数μm~数百μm程度の表面粗さを有する表面の粗さの評価に適していることから、機械加工中における工具の磨耗状態や工作機械の状態監視に利用できる。さらに、超音波を反射する表面であれば粗さの評価をすることができることから、種々の表面粗さの評価に利用することができる。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • 音響信号処理
展開可能なシーズ 特にインプロセスにおける評価に好適な、種々の評価対象物の表面粗さを評価できる表面粗さ評価方法および評価装置を提供する。
評価対象面として二次元平面に限定されるものではなく、回転軸の表面等の三次元平面であっても構わない。評価対象面は金属等の固体の表面である必要はなく、超音波を反射する面であればよい。したがって、液状体やゲル状体の表面であっても評価することができる。
用途利用分野 機械加工部品表面、半導体ウェーハー表面、製造プロセス途中表面粗さ計測、インプロセス計測、光学的方法、電磁波的方法
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人長岡技術科学大学, . 井原 郁夫, デデン ディアン スクマナ, . 表面粗さ評価方法. 特開2008-082856. 2008-04-10
  • G01B  17/08     

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