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レーザ加工装置及びレーザ加工方法

シーズコード S110005715
掲載日 2011年1月14日
研究者
  • 三澤 弘明
  • サウリウス ヨードカシス
  • 坪井 泰之
技術名称 レーザ加工装置及びレーザ加工方法
技術概要 フェムト秒パルスレーザを発生するレーザ光源110と、フェムト秒パルスレーザを加工対象材料の内部に集光照射する光学系を有し、フェムト秒パルスレーザの集光照射位置に中空領域を形成するレーザ加工装置である。光学系は、フェムト秒パルスレーザのパルスエネルギを制御する可変NDフィルタ120と、パルスエネルギが制御されたフェムト秒パルスレーザから単一パルスレーザを切出す電磁フィルタ130と、単一パルスレーザを集光して加工対象材料の内部の集光照射位置に焦点像を形成する油浸対物レンズ210とを有する。加工対象材料の内部の撮像情報を取得する撮像情報取得手段をさらに有し、単一パルスレーザの集光照射位置は、撮像情報に基づいて決定される。パルスレーザ発生手段は、波長が500nm~1300nm、かつ、パルス幅が50fs~500fsのフェムト秒パルスレーザを発生し、可変NDフィルタ120は、フェムト秒パルスレーザのパルスエネルギが50nJ~500nJとなるように制御する。フェムト秒パルスレーザの集光照射位置に中空領域を形成する。
画像

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研究分野
  • 特殊加工
  • レーザ一般
展開可能なシーズ サファイアやダイアモンドなどの硬質結晶性難加工材料の内部に、完全に閉じた構造であり、かつ輪郭が明確な中空領域を簡単な工程で形成することができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。
サファイアやダイアモンドなどの硬質結晶性難加工材料の内部に、化学処理を用いることなく完全にドライなプロセスで、完全に閉じた構造の中空領域を形成できる。また、極めて微細(100nm~500nm)なオーダで、輪郭が明確で加工部位の壁面が美しい中空領域を形成できる。中空領域が形成されたサファイアを光メモリ素子に応用すれば、略同一形状の中空領域を規則正しく配列でき、ビットの定義を明確にできる。また、完全に閉じた構造の中空領域なので、書き込み後の消去が難しい、誤作動や誤操作などにより加工対象材料に書き込んだ情報が消去されない安全性の高い光メモリ素子を実現できる。
用途利用分野 レーザ加工装置、光導波路、回折格子
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人北海道大学, . 三澤 弘明, サウリウス ヨードカシス, 坪井 泰之, . レーザ加工装置及びレーザ加工方法. 特開2007-237221. 2007-09-20
  • B23K  26/36     
  • B23K  26/40     
  • B23K  26/00     
  • B23K  26/03     
  • H01S   3/00     

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