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走査型プローブ顕微鏡システム

シーズコード S110005960
掲載日 2011年10月6日
研究者
  • 齋藤 彰
  • 青野 正和
  • 桑原 裕司
  • 丸山 淳平
  • 真鍋 賢
技術名称 走査型プローブ顕微鏡システム
技術概要 走査型プローブ顕微鏡システム10は、測定対象たる試料30に対向して配置される探針22と、当該探針22を介して物理量を検出して処理する処理システム24と、試料30と探針22と試料30に対する高輝度単色X線のビームの入射位置とを相対的に移動する走査機構26(走査機構26は、試料30を探針22ならびに高輝度単色X線のビームの入射位置に対して移動することにより、試料30と探針22と高輝度単色X線のビームの入射位置との相対的な移動を実現している。)とを有する走査型プローブ顕微鏡20と、試料30に対して高輝度単色X線を照射するX線照射機構40とを有して構成されている。なお、走査型プローブ顕微鏡20の探針22を介して物理量を検出し、検出した物理量を処理システム24により処理する点については、従来より公知の走査型プローブ顕微鏡と変わるものではなく、従来の技術を利用できる。走査型プローブ顕微鏡システム10においては、その波長を測定したい所望の元素の吸収端にあわせた高輝度単色X線を、X線照射機構40から走査型プローブ顕微鏡20における試料30の観察点(測定点)に入射する。
画像

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研究分野
  • 顕微鏡法
展開可能なシーズ 走査型プローブ顕微鏡においては、元素を同定することができないという問題点があった。そこで、原子スケールの空間分解能を備えるとともに元素を同定することを可能にした走査型プローブ顕微鏡システムを提供する。
元素を識別しながら原子スケールの空間分解能による観察やナノ構造の構築を行うことが可能になる。
用途利用分野 走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡システム
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人理化学研究所, . 齋藤 彰, 青野 正和, 桑原 裕司, 丸山 淳平, 真鍋 賢, . 走査型プローブ顕微鏡システム. 特開2006-275528. 2006-10-12
  • G01Q  60/10     
  • G01N  23/223    

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