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微粒子の製造方法

シーズコード S110006192
掲載日 2011年11月14日
研究者
  • 石原 知
  • 新原 ▲皓▼一
  • 末松 久幸
  • 鈴木 常生
  • 中山 忠親
  • 諏訪 浩司
技術名称 微粒子の製造方法
技術概要 微粒子製造装置置101は、ガス導入口10及びガス導出口11を設けた雰囲気制御チャンバー6内に、粉末充填容器5及び2本の電極8、9を配設する。電極8、9はパルス電流発生器7に接続される。パルス電流発生器7は、コンデンサーに直流高電圧を印加して充電した後、両電極8、9間に放電する。ガス導出口11から真空ポンプにより雰囲気制御チャンバー6内の気体を吸引する。ガス導出口11には、生成された微粒子を捕捉するフィルター12を設ける。粉末充填容器5に原料固体粉末として、粒径50μm以下の21.9mgのTiN粉末4を充填し、加圧して圧粉する。TiN粉末4を充填した粉末充填容器5の各タングステン棒2、3を、雰囲気制御チャンバー6内の電極8、9に接続し、チャンバー6内を窒素雰囲気に置換する。パルス電流発生器7の20μFのコンデンサーに6kVの電圧を印加して充電した後、電極8、9の端子に放電する。この放電により、粉末充填容器内のTiN粉末4は気化する。雰囲気制御チャンバー6内に生成した粒子をメンブレンフィルター12に吸引して回収する。粒子は立方体形状であり、粒径が数nm程度から100nm程度である。
画像

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研究分野
  • 粉体工学
展開可能なシーズ 複数の原料物質を反応させて粒径が1nm~100μmの微粒子を作製することができる微粒子の製造方法を提供する。
細線への加工が困難な物質であっても、原料物質として固体粉末を用いることにより、容易に通電して加熱することが可能となり、この加熱及びその後の冷却によって微粒子を高いエネルギー変換効率で作製することができる。また、原料物質として複数の種類の混合粉末を反応させることにより、化合物や合金の微粒子を作製することができる。したがって、広範囲の化学組成を有する微粒子を簡単に作製することが可能となる。また、細線への線引加工が可能な物質であっても、線引加工より粉末作製の方が容易な物質であれば、線引加工工程を用いないことにより、全体の製造コストを低減することが可能となる。
用途利用分野 化合物微粒子、合金微粒子、化合物微粒子製造装置、合金微粒子製造装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 末松 久幸, . 石原 知, 新原 ▲皓▼一, 末松 久幸, 鈴木 常生, 中山 忠親, 諏訪 浩司, . 微粒子の製造方法. 特開2009-241025. 2009-10-22
  • B01J  19/00     
  • B22F   9/02     
  • B22F   9/12     

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