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サブミクロンハニカム構造の製造法

シーズコード S110006460
掲載日 2011年11月22日
研究者
  • 下村 政嗣
  • 藪 浩
技術名称 サブミクロンハニカム構造の製造法
技術概要 微細孔を有するハニカム状多孔質体を製造するという観点から、移動可能な基板に非水溶性ポリマーの水不和合性有機溶媒溶液を塗付して液膜を調製する方法が好ましい。例えば、概ね図に示すような構造を有する装置を利用することで、この方法を実施し得る。図の装置は、所定の速度で図の右から左方向に移動可能な基板1と、基板1上に設けた金属板2と、所定の相対湿度を有する空気を吹き付けるノズル3を有している。ここで、金属板2は、所望の液膜厚に相当する間隙を伴って基板1の上に設置される。この装置では、非水溶性ポリマーの水不和合性有機溶媒溶液を塗付した基板1を金属板の下側をくぐらせることで、基板1に塗付された液膜の厚さを基板1と金属板2との間隙とほぼ等しい厚みへと調整することができる。また、金属板2と基板との間隙を調節して基板上の液膜の厚みを変化させることによっても、ハニカム状多孔質体に形成させる孔の径を制御することも可能である。基板1の移動速度は、0.1μm~10mm/秒、特に1~5mm/秒へと調節することが望ましい。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 固体デバイス材料
展開可能なシーズ 水滴を鋳型とする方法において、200nm以下の周期を持つハニカム状多孔質体とその製造法を提供する。
この方法を用いると、基板上に形成されるハニカム状多孔質体を連続的に基板から回収することができるので、ハニカム状多孔質体の工業的生産方法としても有利である。
用途利用分野 サブミクロンハニカム構造体、ハニカム状多孔質体、水滴鋳型
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人北海道大学, . 下村 政嗣, 藪 浩, . サブミクロンハニカム構造の製造法. . 2008-05-08
  • B29C  41/12     
  • C08J   9/28     
  • B82B   3/00     

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