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レーザインプリント装置及び方法

シーズコード S110006845
掲載日 2011年12月7日
研究者
  • 池野 順一
技術名称 レーザインプリント装置及び方法
技術概要 レーザインプリント装置は、表面に微細加工を施す加工試料23と、型面に複数の凹状部22が形成された型部材21と、型部材21の型面を加工試料23に密着させる治具30と、レーザ光13を出力するパルスYAGレーザ11と、加工試料23に照射するレーザ光13をフォーカスするレンズ12と、弾性波の伝播を検出するAE(Acoustic Emission)センサ31と、レーザ光13を検出するフォトセンサ32と、AEセンサ31及びフォトセンサ32の検出結果を表示する表示装置33とを備えている。パルスYAGレーザ11は、λ=1064nm、パルス幅:1ms~5msのレーザ光を出力する。加工試料23には、YAGレーザの吸収率が100%のリン酸ガラスを用いている。リン酸ガラスは光学フィルタの材料として広く使用されている。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ ガラス部品の精度を維持しつつ、エネルギーロスを伴わずに、局部表面に効率よく微細構造を形成し、ガラス部品の高付加価値化を図ることができるレーザインプリント装置、及びその方法を提供する。
ガラス表面に型形状を転写する際に、レーザ光線を照射してガラスの表面部分のみを局所的に軟化させている。そのため、エネルギーロスを伴わずに、ガラス鏡面の所望局所に、効率的に型形状を転写することができ、レーザ照射域以外の状態は維持しながら、ガラス部品の高付加価値化を図ることができる。
用途利用分野 微小光学素子、マイクロレンズアレイ、光学素子、回折光学素子
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, . 池野 順一, . レーザインプリント装置及び方法. 特開2008-207970. 2008-09-11
  • C03B  11/00     
  • B23K  26/00     
  • B23K  26/12     
  • G02B   3/00     

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