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窒化ガリウムからなる中空の球状粒子及びその製造方法

シーズコード S110006869
掲載日 2011年12月7日
研究者
  • 板東 義雄
  • ウィン・ロンウェイ
技術名称 窒化ガリウムからなる中空の球状粒子及びその製造方法
技術概要 塩化ガリウム粉末4(和光純薬工業(株)製,純度99.9%)3.0gを窒化ホウ素製の坩堝5に入れ,この坩堝5を縦型高周波誘導加熱炉1の中央部に設置した。さらに,坩堝5の上方20cmの位置にシリコン基板6を配置した。反応管2内を266~399Pa(2~3Torr)に減圧にした後,アルゴンガス7を250sccmの流量で流しながら,1100℃で30分間加熱した。その後,アンモニアガス50%及びアルゴンガス50%の混合ガス7を,450sccmの流量で流しながら,引き続き,1100℃で1.5時間加熱した。加熱後,縦型高周波誘導加熱装置1を室温に冷却すると,加熱中に約650℃に保持されていたシリコン基板6上に黄色の粉末が0.6g堆積した。
画像

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研究分野
  • 無機化合物の結晶成長
展開可能なシーズ 新規な、窒化ガリウムの中空球状粒子及びその製造方法を提供する。
直径が15~20nmであり,肉厚が3.5~4.5nmである窒化ガリウムからなる中空の球状粒子が得られると共に,その製造が可能となる。
用途利用分野 青色~紫外領域の発光材料、高温高電力電子デバイス用材料
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人物質・材料研究機構, . 板東 義雄, ウィン・ロンウェイ, . 窒化ガリウムからなる中空の球状粒子及びその製造方法. 特開2007-039277. 2007-02-15
  • C01B  21/06     

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