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ダイヤモンド紫外線センサー

シーズコード S110006874
掲載日 2011年12月7日
研究者
  • 小出 康夫
  • メイヨン リョウ
  • ホセ アントニオ アルバレッツ
技術名称 ダイヤモンド紫外線センサー
技術概要 本発明は、素子構造の複雑化を回避しながらショットキー型センサー素子の特徴を生かしつつ、極めて膜厚の薄い高融点金属のカーバイド化合物又は窒化物をショットキー性電極に用いることによって、印加電圧ゼロVであっても波長280nm 以下の紫外線に対する受光感度を持つダイヤモンド紫外線センサーを提供するものである。具体的には、受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する、2端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、ショットキー性電極に高融点金属元素のカーバイド化合物又は窒化物を単一層として用い、オーム性電極にダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭素との固溶体を形成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外線センサーとなる。
画像

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研究分野
  • 測光と光検出器一般
展開可能なシーズ 従来のダイヤモンド半導体を受光部に用いた紫外線センサー素子は、紫外線を検出するために必ず印加電圧が必要であり、印加電圧が無くても、即ちゼロ電圧であっても紫外線を検出することはできなかった。本発明は、素子構造の複雑化を回避しながらショットキー型センサー素子の特徴を生かしつつ、極めて膜厚の薄い高融点金属のカーバイド化合物又は窒化物をショットキー性電極に用いることによって、印加電圧ゼロVであっても波長280nm以下の紫外線に対する受光感度を持つダイヤモンド紫外線センサーを提供する。
従来のダイヤモンド紫外線センサーではできなかった紫外線照射によって印加電圧がゼロであっても光電流を発生させることができる電池機能を持っており、且つ印加電圧がゼロ電圧においても波長220nmの紫外線と波長400から600 nmの可視光に対する受光感度の比(可視光ブラインド比)5桁を達成している。
用途利用分野 紫外線センサー
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 小出 康夫, メイヨン リョウ, ホセ アントニオ アルバレッツ, . ダイヤモンド紫外線センサー. 特開2007-066976. 2007-03-15
  • H01L  31/108    
  • G01J   1/02     

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