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冷凍チャック装置

シーズコード S110006895
掲載日 2011年12月7日
研究者
  • 宇根 篤暢
技術名称 冷凍チャック装置
技術概要 チャックプレート表面5に設けられた多数の給排液孔2、これに連結されるチャックプレート表面下に設けられた液体給排液溝3、およびチャックプレート表面上に液体を保持する外周壁4からなるチャックプレート8、このチャックプレート8の下部に設けられた不凍液を循環させる冷凍プレート9を有し、チャックプレート表面5の上面に試料を支承する多数の突起1を形成し、この多数の突起1の上面と試料12の裏面間に存在する液体6のみを凝固して試料を固着する。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 従来の冷凍チャック装置は、冷凍温度を正確にコントロールするために冷却手段と加熱手段の両方を必要とし、且つ、冷却方向もコントロールしなければならないため、きわめて複雑な冷却・加熱機構と制御手段を要し、価格が高騰する欠点があった。そこで、チャック表面と試料裏面間に供給した液体のうち、多数の突起と試料裏面間に存在する液体のみを凝固することにより、凝固時に発生する液体の膨張による薄板の変形を無視できるほど小さくすることができる冷凍チャック装置を提供する。
チャックプレート表面上に、多数の突起や環状突起を設けることによって、試料との裏面間に存在する液体の量を多数の突起や環状突起以外のすきまに存在する液体の量と比較してきわめて小さくすることができる。したがって、突起と試料の裏面間に存在する液体の熱容量は小さくなり、凝固点に到達した液体は凝固し、試料を固着する。この時多数の突起の周りの液体は凝固していないので、凝固時に発生する固化による膨張を逃がすことが可能になり、薄板の変形は生じない。
用途利用分野 冷凍チャック装置、半導体製造装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 防衛装備庁長官, . 宇根 篤暢, . 冷凍チャック装置. 特開2006-012941. 2006-01-12
  • H01L  21/683    
  • B23Q   3/08     

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