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ナノワイヤー及び混合ナノワイヤー並びに混合ナノワイヤーの製造方法

シーズコード S110006948
掲載日 2011年12月12日
研究者
  • 板東 義雄
  • ウィン・ロンウェイ
  • デミトリー・ゴルバーグ
技術名称 ナノワイヤー及び混合ナノワイヤー並びに混合ナノワイヤーの製造方法
技術概要 酸化ゲルマニウム粉末1.5gとゲルマニウム粉末0.5gとの混合物をグラファイト製の坩堝に入れ,この坩堝を縦型高周波誘導加熱炉の反応管中央部に設置し,坩堝の上方25cmのところにサファイア基板を配置し、次に,反応管を2.7~3.3×10-1Pa(2~2.5×10-3Torr)まで減圧した後,アルゴンガスを60sccmの流量で流しながら,坩堝内の混合物を1200℃で1時間加熱した。加熱中に約700℃に維持されていたサファイア基板上に,灰色の繊維状物質が0.3g堆積した。次に,酸化亜鉛粉末2gをアルミナ製の坩堝に入れ,この坩堝を横型加熱炉の石英管の中央部に設置した。また,坩堝の下流側に,第一工程で製造した灰色繊維状物質であるゲルマニウムナノワイヤーの付いたサファイア基板を20cm離して配置した。そして,反応管を3.9×10-1Pa(3×10-3Torr)まで減圧した後,アルゴンガスを50sccmの流量で流しながら,坩堝内の酸化亜鉛粉末を1250℃で1時間加熱した。加熱中に約650℃に維持されたサファイア基板上に,灰色の綿状物質が0.6g堆積した。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 結晶性の優れた単結晶の酸化亜鉛及びゲルマニウムナノワイヤーで構成されている一次元ヘテロ構造体の各ナノワイヤーと、これらのナノワイヤーを混合した混合ナノワイヤー及び製造方法を提供する。
結晶性の優れた酸化亜鉛とゲルマニウムのヘテロ接合からなるナノワイヤーを得ることができる。よって、新規な微小半導体装置を実現することができる。
用途利用分野 半導体製造装置、ナノワイヤー
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人物質・材料研究機構, . 板東 義雄, ウィン・ロンウェイ, デミトリー・ゴルバーグ, . ナノワイヤー及び混合ナノワイヤー並びに混合ナノワイヤーの製造方法. 特開2007-126334. 2007-05-24
  • C30B  29/66     
  • C30B  29/62     

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