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シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法

シーズコード S110006984
掲載日 2011年12月13日
研究者
  • 野田 哲二
  • 胡 全利
  • 荒木 弘
  • 鈴木 裕
  • 楊 文
技術名称 シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法
技術概要 純度99.999%のシリコン粉末と純度99.999%のゲルマニウム粉末を、重量で4:1の割合で混合し、300メッシュ(粒径約50μm)程度になるように乳鉢で細かく粉砕した。この混合粉末を、直径8mm、長さ100mmのロッド状に成形し、10-6Torrの真空において、800℃、2時間で形が崩れない程度に仮焼結を行なった。このロッドを試料として、大気圧下、Arガス流量10cm↑3↑/minの条件下で、浮遊帯域溶融法により溶解した。このとき、Arガスは、略垂直に設置されているロッド体の下から上に向かって流すようにした。すると、ロッド表面において、溶融部より約1.5~2cm上方の、温度960~1000℃の領域に、図(a)~(d)に示したような様々な形態のナノワイヤー集合体が成長しているのが確認された。このナノワイヤー集合体は、いずれも球状部から多数のナノワイヤーが伸びて構成されており、あたかも頭頂部から触手等が伸びている生物のような特殊な形状を有しているのが観察された。
画像

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研究分野
  • 金属の結晶成長
展開可能なシーズ 半導体等の情報通信用デバイス材料やその他電子・電気材料等として有用で、多様な組成および形態が、簡便に、大量にも実現可能とされる新しいシリコンゲルマニウムナノワイヤーとその製造方法を提供する。
シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体は、組成が、一般式SiGe1-xで表される様々なxを持つ合金を使用ながらも、シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体となったものは、合金とは異なる所望のx値を示すものに調整することを実現することができるようになった。
用途利用分野 ナノマシン用素材、発光素子、光検出器、触媒
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人物質・材料研究機構, . 野田 哲二, 胡 全利, 荒木 弘, 鈴木 裕, 楊 文, . シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法. 特開2007-238433. 2007-09-20
  • C01B  33/06     
  • B82B   3/00     
  • H01L  29/06     
  • H01L  29/161    

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