TOP > 技術シーズ検索 > 溝型導光格子構造およびその製造方法

溝型導光格子構造およびその製造方法

シーズコード S110007024
掲載日 2011年12月14日
研究者
  • 海老塚 昇
  • 大谷 知行
技術名称 溝型導光格子構造およびその製造方法
技術概要 この溝型導光格子構造10は、固体状の透明媒質よりなる板状体であり、真空中や透明媒質(気体、液体または固体)中で使用されるものである。そして、この溝型導光格子構造10の表面10bには複数の溝10aの開口部が互いに並行であるように刻設されている。なお、溝10aの開口部は、溝型導光格子構造10の長辺を有する側面が図に示したXYZ直交座標系を示す参考図におけるXY平面に平行であるように載置されている場合において、Z軸に平行であるように並んでいるものである。溝10aの開口部は長方形形状であり、図に示すように、各溝10aは開口部からY軸と平行あるいはY軸方向における左斜め下方向へ所定の深さを有する。より詳細には、この複数の溝10aはすべて、所定の長さd1と所定の幅w1とを有しており、溝型導光格子構造10の表面10bに対して角度θ1だけ傾斜して整列している。こうした構成を有する溝型導光格子構造10は、例えば、非線形光学結晶上に載置され、非線形光学結晶内においてパラメトリック発振により発生されたテラヘルツ波を非線形光学結晶から外部に取り出すためのカップラとして用いられるものである。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2007-230492.gif
研究分野
  • 光デバイス一般
  • 伝送回路素子
  • 非線形光学
展開可能なシーズ 簡潔な構造で高い精度と高い効率とを達成することができるようにしたカップラあるいは透過型回折格子として用いることが可能な溝型導光格子構造およびその製造方法を提供する。また、作製に手間を必要とせず、小型で薄型のカップラあるいは透過型回折格子として用いることが可能な溝型導光格子構造およびその製造方法を提供する。
シリコンウエハからICチップを切断する際に使用されているダイサーやレーザーアブレーション装置を用いることにより、あるいはシリコン等の基板に回折格子を加工したものを非線形光学結晶と接合したり、非線形光学結晶にスリット状回折格子を直接加工することでテラヘルツ波を得られる回折格子を作成できるため、従来のシリコンカップラと比較して安価で高精度の回折格子を実現することができる。さらに、非線形光学結晶に直接溝型導光格子構造を加工したり、非線形光学結晶と同一の屈折率を有する材質の溝型導光格子構造を用いて非線形光学結晶と接合できるため、溝型導光格子構造と非線形光学結晶との界面におけるフレネル反射損失を軽減でき、効率よくテラヘルツ波を得ることができる。
用途利用分野 溝型導光格子構造、テラヘルツ波出射用カップラ、透過型回折格子、テラヘルツ波発生用非線形光学結晶、分散素子、ビーム分配器、ビーム混合器、波長弁別器
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人理化学研究所, . 海老塚 昇, 大谷 知行, . 回折格子. 特開2009-063754. 2009-03-26
  • G02F   1/39     

PAGE TOP