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磁気吸引型非接触搬送装置

シーズコード S110007069
掲載日 2011年12月14日
研究者
  • 小森 望充
技術名称 磁気吸引型非接触搬送装置
技術概要 磁気吸引型非接触搬送装置は、磁気吸着素子10を備えている。磁気吸着素子10は、内側に環状の空洞部11が形成された磁性体の一例である鉄心12と、鉄心12中央の磁極鉄心部13を取り囲む空洞部11に設けられたコイル14と、磁極鉄心部13の中央部に埋め込まれた変位計の一例である渦電流センサー15とを有している。渦電流センサー15は、中央に棒状部19を、その周囲に筒状部20を、上部に棒状部19と筒状部20の上端を連結するヨーク部21を有するセンサー用コア22と、棒状部19に巻回されたコイル23とを有し、このコイル23にコントローラから高周波電流を流し、対象物16の変位によって変化するコイル23のインピーダンスを測定し、これを距離に換算する構造となっている。センサー用コア22は、磁極鉄心部13の先側の下部が開放した円柱状空洞部25に埋設されているが、周囲の磁極鉄心部13とは隙間を有して配置され、この隙間部分には樹脂26が充填されている。中央の棒状部19の下端及び周囲の筒状部20の下端の位置は、磁極鉄心部13の下端と一致し、センサー用コア22が磁極鉄心部13の下端、即ち、磁極から露出している。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • コンベヤ
展開可能なシーズ センサー(変位計)と磁石を一体化して装置をコンパクト化し、例えば、対象物を遠方まで移送する場合であっても、多数のセンサーを必要としない磁気吸引型非接触搬送装置を提供する。
磁極による吸引力は磁極からの距離の二乗に反比例し、重力は対象物の変位によっては変化しないので、磁極から対象物までの距離は容易に制御できる。このような磁気吸着素子を複数組み合わせることによって、複雑な形状の対象物であっても、その搬送や位置制御、場合によって回転制御も行なうことができる。変位計がコイルに電流を流すことによる磁場の影響を受け難くなり、より正確な変位の測定ができる。
用途利用分野 磁気吸引型非接触搬送装置、変位計、渦電流センサー、ロボットハンド、半導体製造装置、化学実験装置、生物実験装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人九州工業大学, . 小森 望充, . 磁気吸引型非接触搬送装置. . 2008-06-05
  • B65G  54/02     

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