TOP > 技術シーズ検索 > 真空排気ポンプ

真空排気ポンプ

シーズコード S110007082
掲載日 2011年12月14日
研究者
  • 小森 望充
  • 原 啓城
技術名称 真空排気ポンプ
技術概要 ターボ分子ポンプは、中央に配置されたシャフト11及びその周囲に取付けられた複数の動翼12を有するロータ13と、このロータ13を囲むケーシング14及びケーシング14の内側に設けられた複数の静翼15を有するステータ16と、シャフト11の両端(両側)を回転自由に支持する超電導磁気軸受(軸受の一例)17、18とを備えて、この超電導磁気軸受17、18の冷却に用いる冷媒をステータ16の冷却に使用して、極低温で水分子を凝縮して排気するコールドトラップの機能を設けたものである。ロータ13は直立に配置し、超電導磁気軸受17、18は、シャフト11側に永久磁石37、38を、固定軸受側に超電導体35,36を、それぞれ配置し、さらに、ロータ13の下端には、ロータの停止時にスラスト荷重を受けるピボット軸受39を設けてもよい。永久磁石37、38は複数の磁石を積層し、隣り合う磁石の磁極が同極であることが好ましい。静翼15の内部に冷媒を流す第1の流路30を形成し、また、ケーシング14をジャケット構造にして、ケーシング14の内部に冷媒を流す第2の流路53を形成することが好ましい。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2009-184795_1.GIF thum_2009-184795_2.GIF
研究分野
  • 真空ポンプ
  • 軸受
  • 蒸留,蒸発
展開可能なシーズ ターボ分子ポンプに取付けるコールドトラップは、ターボ分子ポンプとは別個に製造する必要がある。そこで、構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな排気を可能とするターボ分子ポンプを提供する。
ステータを冷却する冷媒に、超電導磁気軸受に用いる冷媒を使用するので、ステータにコールドトラップの機能を付加できる。また、ロータを直立配置した場合、固定軸受側は動かないため、超電導体へ冷媒を供給するための構造を簡単にできる。また、ロータの下端に、このロータの停止時にスラスト荷重を受けるピボット軸受を設けるので、例えば、超電導体の冷却時のロータの位置決めや緊急時にも、ロータの位置決めができる。そして、静翼の内部に冷媒を流す流路を形成する場合、排気の対象となるガス成分との接触面積を増やすことができ、コールドトラップの機能を更に高めることができる。更に、ケーシングをジャケット構造にして、ケーシングの内部に冷媒を流す流路を形成する場合、排気の対象となるガス成分が流れる経路全体を冷媒で冷却できるので、コールドトラップの機能を更に高めることができる。
用途利用分野 ターボ分子ポンプ、クリーン排気ポンプ、半導体製造装置、化学物質製造装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人九州工業大学, . 小森 望充, 原 啓城, . 真空排気ポンプ. 特開2011-038435. 2011-02-24
  • F04D  19/04     
  • F16C  32/04     
  • F16C  11/00     

PAGE TOP