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マイクロバルブ及びマイクロポンプ

シーズコード S110007164
掲載日 2011年12月21日
研究者
  • 楊 明
  • 齋藤 弘己
  • 伊藤 國吉
  • 小澤 茂男
技術名称 マイクロバルブ及びマイクロポンプ
技術概要 流入用マイクロバルブ6は、金属板のプレス加工によって形成された弁体10と、弁体10が収容される有底の凹部11が一端13aに配され、かつ凹部11の底部11Aから他端13bまで中心軸線CLに沿って貫通する第一微小流路12が配された金属製のアウトブッシュ(第一円柱部)13と、中心軸線CLに沿って貫通して第二微小流路15が配されて、弁体10とともに凹部11に圧入された金属製のインブッシュ(第二円柱部)16と、弁体10と対向して第二微小流路15の端部に配された弁座17と、を備えていることを特徴とする。圧力室2内が負圧とし、流入用マイクロバルブ6が開状態となって流入した流体は、圧力室2内に流入する。続いて圧力室2内の圧力を上昇させ、流出用マイクロバルブ7が開状態となって流入した流体は、流出微小流路5に流入する。この操作を繰り返すことによって、流体が、流入微小流路3から流入用マイクロバルブ6、圧力室2、流出用マイクロバルブ7を介して流出微小流路5へと流れていく。マイクロポンプ1は以上のように作動する。
画像

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研究分野
  • 配管材料,弁
  • ポンプ,各種揚水装置
展開可能なシーズ 十分な耐圧性を有してより大量かつ低コストで製造することができるマイクロバルブ及びマイクロポンプを提供する。
流体の圧力や流量に対して十分な耐圧性が得られ、工程が簡単で安価な装置で製造でき、シール性が良く流体の漏れが抑えることができ、作動中の弁体が弁座に対して自己整合させることができ、流量制御が良好にできる。
用途利用分野 マイクロバルブ、マイクロポンプ、化学分析機器、光学分析機器
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 公立大学法人首都大学東京, . 楊 明, 齋藤 弘己, 伊藤 國吉, 小澤 茂男, . マイクロバルブ及びマイクロポンプ. 特開2009-236284. 2009-10-15
  • F16K  15/14     
  • F04B  43/04     
  • B81B   3/00     
  • B21D  53/00     

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