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3次元ナノ金属構造体の光還元加工法

シーズコード S110007289
掲載日 2011年12月22日
研究者
  • 田中 拓男
  • 武安 伸幸
  • 河田 聡
技術名称 3次元ナノ金属構造体の光還元加工法
技術概要 金属結晶の成長を抑制することができる物質を金属イオンが分散した媒体中に添加することで、金属イオンが光還元されて生成される金属結晶の成長を防ぎ、これにより金属結晶からなる金属構造体の加工分解能を改善する。金属結晶の成長を阻害する物質とは、金属が析出して結晶化し、その結晶同士が結合して大きくなるのを防ぐ物質をいう。このような物質としては、金属結晶の表面を覆い、当該金属結晶と他の金属結晶との結合を妨げる作用を有する物質が考えられる(図参照)。このような観点から、金属結晶の成長を阻害する物質は、以下の特性の全てを備えることが好ましい。(1)分子中に金属や金属イオンと親和性をもつか、又は直接結合する原子を有すること。(2)金属イオンが分散している溶媒中に分散すること。(3)直接金属イオンを還元する能力が低いこと。(4)金属イオンと結合し沈殿物等を生じないこと(ただし、溶媒のpH調整や金属イオンの錯イオン形成によって沈殿物を再度溶解させることが可能な場合は使用可能である)。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • LCR部品
展開可能なシーズ 金属イオンを光還元して金属構造体を製造する方法において、従来の技術よりも加工分解能を大幅に改善することができる方法を提供する。より具体的には、金属構造体を構成する金属結晶の成長を抑制することで加工分解能を改善した金属構造体の製造方法を提供する。
金属イオンを光還元することで生成する金属結晶の粒子サイズをナノメートルのサイズに抑えることができるので、当該金属結晶から構成される金属構造体の加工分解能を大幅に改善することができる。これにより、金属構造体の微細で精密な任意のパターンの3次元構造を容易に作製することができるという優れた効果を奏する。
用途利用分野 3次元ナノ金属構造体、金属構造体、マイクロマシン、微小金属コイル
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人理化学研究所, . 田中 拓男, 武安 伸幸, 河田 聡, . 3次元ナノ金属構造体の光還元加工法. 特開2009-228097. 2009-10-08
  • C23C  18/14     
  • B22F   9/24     

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