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電子顕微鏡用試料ホルダ。

シーズコード S110007373
掲載日 2011年12月26日
研究者
  • 川崎 忠寛
技術名称 電子顕微鏡用試料ホルダ。
技術概要 電子顕微鏡用試料ホルダは、電子線を照射する試料を配置する試料室10と、この試料室にガスを導入するための導入管12と試料室10からガスを排出するための排出管14とのいずれか一方が、導入管12と排出管14との他方の周囲を囲むように設けられたガス導排管11と、を備える。ガス導排管11は、試料室10に接続される領域において、導入管12と排出管14との他方は導入管12と排出管14との一方の周囲を囲み、ガス導排管11の導入管12及び排出管14との一方以外の空間は、導入管12及び排出管14との他方である。また、試料室10はガス導排管11が接続される一面から形成された空洞を有し、導入管12及び排出管14との一方は空洞内に挿入され、導入管12及び排出管14との他方は、一面に空洞を囲むように接続されている。また、導入管12及び排出管14との一方の径は、導入管12及び排出管14との他方の径に応じて設定され、導入管12及び排出管14との一方は導入管であり、導入管12と排出管14との他方は排出管である。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 試料室にガスを導入し排出するため導入管及び排出管を太くすることができない。よって、試料室へのガス導入排出のコンダクタンスが大きく、ガスの流量を確保することができない。そこで、この問題の無い、試料室へのガス導入排出のコンダクタンスを大きくすることが可能な電子顕微鏡用ホルダを提供する。
排出管か導入管の周囲を囲ことにより、導入管及び排出管の断面か大きくなり、ガスの導入排出のためのコンダクタンスを大きくできる。また、試料室はガス導排管が接続される一面から形成された空洞を有するので、導入管は空洞内に挿入されて、試料室内においてもガスのコンダクタンスを高くする構造を、容易に形成することができる。
用途利用分野 電子顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 川▲崎▼ 忠寛, . 電子顕微鏡用試料ホルダ. 特開2010-061990. 2010-03-18
  • H01J  37/20     

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