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透過電子顕微鏡

シーズコード S110007410
掲載日 2011年12月27日
研究者
  • 石塚 和夫
  • 三留 正則
  • 木本 浩司
  • 板東 義雄
技術名称 透過電子顕微鏡
技術概要 透過電子顕微鏡において、計測対象となる物体(試料)からの光学的伝播距離の異なる計測面を選択する計測面選択機構53と、選択された計測面における電子波強度を計測する画像計測機構54と、計測された電子波強度から強度輸送方程式に基づき、電子波の位相を求める位相演算機構55を備える。計測面選択機構において、画像計測機構の記録面の位置を電子波の伝播方向に平行に移動させることにより、画像計測機構の記録面における、光学的伝播距離を変化させる。そして、計測対象となる物体(試料)の位置を電子波の伝播方向に平行に移動させることにより、画像計測機構の記録面における、光学的伝播距離を変化させる。また、結像レンズ電流の強さを制御することにより、画像計測機構の記録面における、光学的伝播距離を変化させ、電子線の加速電圧を制御することにより、画像計測機構の記録面における、光学的伝播距離を変化させる。そして、位相演算装置において、計測された電子波強度を、順方向および逆方向に利用して、電子波強度の計測回数を削減し、電子波の位相を求めることができる。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 電子波は、物体を透過したとき、電場や磁場中を通過したとき、ならびに、電磁レンズによって曲げられたときなどに、その位相を変化させる。この位相変化を計測することで、吸収コントラストの小さな位相物体や、電場・磁場の強度、さらには、電磁レンズの収差などを知ることができる。しかし、電子波の位相分布を詳細にその場観察する一般的な方法は未だに存在しない。そこで、強度輸送方程式に基づき、電子波の位相計測を高速かつ時系列的に連続に実行する、透過電子顕微鏡を提供する。
光学位相差顕微鏡と同様に、生物試料のような吸収コントラストの小さい試料(位相物体)を無染色の状態で大きなコントラストの位相像としてその場観察することができる。また、材料開発で必要とされる電場・磁場強度のその場観察が容易に行える。さらに、求まった位相をもとに、画像処理により、対物レンズの球面収差を補正することも可能となる。
用途利用分野 透過電子顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人物質・材料研究機構, . 石塚 和夫, 三留 正則, 木本 浩司, 板東 義雄, . 透過電子顕微鏡. 特開2007-134229. 2007-05-31
  • H01J  37/26     

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