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帯電中和電子の斜め照射法を用いた絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡

シーズコード S110007412
掲載日 2011年12月27日
研究者
  • 安福 秀幸
  • 吉川 英樹
技術名称 帯電中和電子の斜め照射法を用いた絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡
技術概要 試料台に設置した絶縁物試料11に励起光80を照射し、試料表面から放出された光電子又は二次電子を投影型電子光学系により結像させて試料表面を観察する。試料面上に強電場又は強磁場が印加された状態で、励起光と同時に帯電中和電子ビームをビーム偏向器34,35又は、ビームセパレータの電子光学条件を調整することにより結像光軸に対して斜め方向から試料表面に照射する。そして、試料表面で反射又は弾性散乱した中和電子を角度制限絞り(コントラスト絞り)で除去することにより、絶縁物試料表面を観察することができる。一方、帯電中和電子ビームを結像光軸に対して斜め方向から試料表面に照射すると、帯電中和電子は試料上で鏡面反射を起こして、試料表面の垂直方向に対して照射角と同じ角度を持って反射される。ここで、結像光軸内に設置された角度制限絞りを用いて、角度を持った中和電子ビームを取り除くことで、エネルギーフィルターを用いることなく微弱な光電子又は二次電子と大強度の中和電子を切り分けることができ、光電子又は二次電子像を容易に観測することが可能となる。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 放射電子顕微鏡の試料面上に強電場や強磁場を印加する時、一般に対物レンズによって回転対称な電場や磁場を発生させて使う。この回転対称な電場や磁場の回転中心に沿って、数eV程度の低速の中和電子ビームを試料に照射し、絶縁物試料の帯電を抑制する。しかし、試料に照射した中和電子が、反射又は弾性散乱して観測する光電子像にかぶってしまう問題点があった。そこで、試料台に設置した絶縁物試料を観察した際に生じる試料表面の帯電を抑制し、エネルギーフィルターを用いること無く鮮明な電子像を得るための手法と、それを応用した放射電子顕微鏡を提供する。
斜め照射方式により、そのエネルギーフィルターを必要としない簡便な装置で観察を可能にできる。
用途利用分野 絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡、化学状態分析装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人物質・材料研究機構, . 安福 秀幸, 吉川 英樹, . 帯電中和電子の斜め照射法を用いた絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡. 特開2007-165155. 2007-06-28
  • H01J  37/20     
  • H01J  37/285    

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