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マイクロコイルの製作方法およびマイクロコイル

シーズコード S120007608
掲載日 2012年1月4日
研究者
  • 堀内 敏行
  • 片山 雅博
技術名称 マイクロコイルの製作方法およびマイクロコイル
技術概要 金属マイクロパイプ外表面にレジストを付し、露光ビームを当てて螺線状に走査露光する。その際、露光ビームのスポットが常に一定形状、大きさで当たるように、予めマイクロパイプの傾斜・高さを調整して露光し、均一線幅の螺線スペースパターンを形成する。続いてレジストをマスキング材としてマイクロパイプをエッチングする。(h)は螺線スペースパターン34が形成されたマイクロパイプ1を現像リンス液35から取り出した状態を示す。次に、このマイクロパイプ1を、(i)に示すエッチング液37に浸漬する。ここで、エッチング液37の状態のばらつきによってエッチング速度がわずか異なり、マイクロパイプ1がマイクロコイルになるまで連続してエッチングすると、同じ条件で同じ時間エッチングしてもエッチング量がばらつき、マイクロコイルがエッチングされ過ぎて切れたり、エッチング不足で「ばり」が残ったりする。同じ条件で同じ時間エッチングした時のエッチング量のばらつきの影響を低減するため、マイクロパイプ1がマイクロコイルになる前にエッチング途中のマイクロパイプ41をエッチング液37から出し、(j)に示すエッチングリンス液39に浸漬する。
画像

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研究分野
  • LCR部品
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ コイル外径が100μm以下で、コイル部分の長さがコイル外径の20倍以上の金属製で真直なマイクロコイルおよびマイクロコイルの製作方法を提供する。
従来よりも露光ビームのスポットの大きさや形状を精度良く一定に保て、かつ、従来よりも露光ビームのスポットの位置を精度良く原材料とする金属マイクロパイプ上の所定の位置に置いて、該金属パイプの外表面に付したレジストを露光できるので、リソグラフィで形成する螺線レジストスペースパターンの線幅を均一にできる。また、金属パイプを螺線状にエッチングしてコイルを製作する際に、適切なエッチングの終点を従来よりも遥かに精度良く推測できるため、コイル素線幅の精度が良く、「ばり」がなく、素線の断面形状が略長方形で均一なマイクロコイルを再現性良く製作できる。さらに、原材料とする金属マイクロパイプの真直度に対応する真直度を有し、コイル長さ/コイル直径=アスペクト比が従来よりも格段に大きいマイクロコイルを製作できる。
用途利用分野 マイクロコイル、金属マイクロパイプ、コイルスプリング、マイクロ機構構成要素、超小型インダクタンス要素部品
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京電機大学, . 堀内 敏行, 片山 雅博, . マイクロコイルの製作方法. 特開2009-160722. 2009-07-23
  • B81C  99/00     
  • C23F   1/02     
  • F16F   1/06     

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