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加速度センサ、および加速度検出装置

シーズコード S120007730
掲載日 2012年1月5日
研究者
  • 土屋 智由
技術名称 加速度センサ、および加速度検出装置
技術概要 基板23に垂直になるように第1主面と第2主面を配し、第1主面を基板に固定し、第2主面を一体的に3次元的に変位するように支持し、第1主面と第2主面の各々を基板に垂直な方向の長さに比べて基板の主面方向の長さが大きくなるように設ける。そして、各キャパシタにおいて第1主面の図心と第2主面の図心とが基板の主面に垂直な方向にずれるように第1主面と第2主面とを配する。このように第1揺動杆の電極対と第2揺動杆の電極対とを対比すると、電極対がキャパシタとして機能したときにキャパシタの静電容量の変化量においてZ軸方向の変位に起因する成分の符号が逆になる。そして、各キャパシタの静電容量の変化分に、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向の変位に起因する成分を含ませることができる。したがって、各キャパシタの静電容量の測定値をもとに、例えばガウスの消去法などの演算処理をすることにより3軸方向(上記X軸方向、Y軸方向、Z軸方向)夫々の変位に起因する成分を抽出することができる。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器
展開可能なシーズ サーフェスマイクロマシニング技術を用いた加速度センサを3つあるいは2つ組み合わせて3次元的に作用する加速度を検出しようとすると、1つの基板を他の基板と直交するように設けるか2つのセンサ構造を基板上に並べる、あるいは1つの非常に複雑な構造のセンサを製作する等の必要が生じて小型化の観点から問題がある。そこで、小型化可能で3次元的に作用する加速度を検出可能な加速度センサおよび当該加速度センサを備えた加速度検出装置を提供する。
本加速度センサは、サーフェスマイクロマシニング技術を用いて作成された従来のいわゆる1軸、あるいは2軸の加速度センサを2つあるいは3つ組み合わせた場合に比べて、また、従来のバルクマイクロマシニング技術で作製された加速度センサと比べて、加速度を3次元的に検出しながら、加速度センサの構造を薄くして小型化を図ることができる。
用途利用分野 加速度センサ、加速度検出装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人京都大学, . 土屋 智由, . 加速度センサ、および加速度検出装置. 特開2008-064603. 2008-03-21
  • G01P  15/18     
  • H01L  29/84     
  • G01P  15/125    

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