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酸化物超伝導薄膜の製造方法

シーズコード S120007827
掲載日 2012年1月6日
研究者
  • 木場 信一郎
技術名称 酸化物超伝導薄膜の製造方法
技術概要 単結晶基板上にYBaCu組成のバッファー薄膜を形成する(基板温度は800℃~830℃、酸素圧13.3Pa~26Pa)第1の工程と、バッファー薄膜上に連続してBa‐Ca‐Cu‐O系酸化物超伝導薄膜を形成する(基板温度は770℃~830℃、酸素圧は13.3Pa~26Pa)第2の工程とから成る酸化物超伝導体薄膜の製造方法で、第1の工程は、バッファー薄膜をパルスレーザー蒸着法によりエピタキシャル成長させる工程であり、第2の工程は、バッファー薄膜上に酸化物超伝導薄膜をパルスレーザー蒸着法によりエピタキシャル成長させる超伝導薄膜成長工程と、それに続いて、基板温度を徐冷させる徐冷工程と、続く基板温度急冷工程から成る。従って、バッファー薄膜上の酸化物超伝導薄膜界面の結晶構造を乱すことなく酸化物超伝導薄膜を形成することにより、結晶性に優れた酸化物超伝導薄膜の形成が可能で、その酸化物超伝導薄膜を含んだ高い超伝導転移温度の超伝導薄膜積層体を形成することができる。図は、この超伝導薄膜積層体の製造方法を説明したタイムチャートで、上段は真空容器内の酸素圧の推移、下段は基板温度の推移である。
画像

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研究分野
  • 酸化物系超伝導体の物性
  • 酸化物薄膜
展開可能なシーズ 結晶性に優れた酸化物超伝導薄膜を形成可能とするとともに、その酸化物超伝導薄膜を含んで高い超伝導転移温度を有する超伝導薄膜積層体を形成可能な酸化物超伝導薄膜の製造方法を提供し、並びに酸化物超伝導薄膜の量産化に好適で工業価値の高い酸化物超伝導薄膜の製造方法を提供する。
酸化物超伝導薄膜は、結晶性に優れ、その超伝導薄膜積層体は、高超伝導転移温度を有する。また、製造工程中に有毒元素を含まないで酸化物超伝導薄膜を形成できるので、量産化に好適で工業価値の高い酸化物超伝導薄膜の製造方法である。
用途利用分野 高温超伝導体薄膜、機能素子
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人国立高等専門学校機構, . 木場 信一郎, . 酸化物超伝導薄膜の製造方法. 特開2010-215467. 2010-09-30
  • C30B  29/22     
  • C23C  14/08     
  • C23C  14/28     
  • H01L  39/24     

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