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表面分析装置及び表面分析方法

シーズコード S120007867
掲載日 2012年1月16日
研究者
  • 戸名 正英
  • 大谷 俊介
  • 櫻井 誠
技術名称 表面分析装置及び表面分析方法
技術概要 この装置1は、試料台6と、試料5に価数が15以上の多価イオンビーム(IB)を照射する多価イオン発生源3と、試料に多価IBを照射する事で生じる二次イオンを検出する質量分析部8と、試料に多価IBを照射する事で生じる二次電子を検出する二次電子検出部10と、二次電子検出信号を受けて分析開始信号を生成し質量分析部へ送信する質量分析制御部12を備える。二次電子検出器は、好ましくは、複数のチャンネルトロン又は複数のアノード電極を持つマイクロチャンネルプレートからなる。多価イオン発生源は、好ましくは、一端に多価イオン発生源からの多価IBが入射され他端から多価IBが出射される多価イオンガイドを備えており、多価イオンガイドの他端部はキャピラリー構造である。この方法は、多価IBを15価以上の価数で変化させて試料へ照射し、試料表面の特定の元素から生じる二次イオンのカウント数と価数との関係を算出して、特定の元素に対する多価IBの価数を決定する。好ましくは、試料が2以上の構成元素からなり、各構成元素から生じる二次イオンのカウント数と価数との関係を算出して、各構成元素の組成比を与える多価イオンの価数を決定する。
画像

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研究分野
  • 質量分析計
展開可能なシーズ 高い多価数を有する多価イオンを用いて被測定物の表面または表面近傍に存在する原子や分子を効率良く検出することができる表面分析装置と表面分析方法を提供する。
15価以上の多価イオンビームを試料に照射することにより試料から発生する二次イオンの信号は、価数の4乗等のべき数に比例して増大するために、試料表面の分析を短時間で分析することができる。このため、表面清浄化を施した試料の分析においても残留ガス等の再付着が起こらず高精度な分析を行うことができる。他手法では分析が困難であった所謂質量の小さいH(プロトン)等の元素を、高感度でかつ短時間で測定することができる。
用途利用分野 表面分析装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 国立大学法人電気通信大学, 国立大学法人神戸大学, . 戸名 正英, 大谷 俊介, 櫻井 誠, . 表面分析方法. 特開2009-250903. 2009-10-29
  • G01N  27/62     
  • G01N  23/225    
  • H01J  37/244    
  • H01J  37/252    

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