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プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法

シーズコード S120007883
掲載日 2012年1月16日
研究者
  • 米須 章
技術名称 プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法
技術概要 プラズマ生成用のガス9を導入し、大気中に排出する非導電性のガス流路管1と、このガス流路管を取り巻く導電性アンテナ管2とを有し、このアンテナ管にマイクロ波7を照射し、このガス流動管中のガスをプラズマ化するプラズマ発生装置において、このアンテナ管2には、ガス流動管の管軸方向に沿って所定の長さのスリット3が形成されている。このスリット部分により、プラズマ生成部に照射されたマイクロ波の励起電界が集中することとなり、この電界によりプラズマが生成・維持が可能となる。スリット3の形状として、スリット部分の長さLは、プラズマ生成部に照射するマイクロ波の波長λに対し、半波長の整数倍(nλ/2;nは1以上の整数)となるように設定されている。また、スリット部分の幅Dは、特に限定されるものではないが、幅Dが狭くなるに従い、スリット部分に発生する励起電界の強度が増加し、ガス流路管を通過するガスのプラズマ化を促進することが可能となる。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
展開可能なシーズ プラズマ点火前後のキャビティ内のインピーダンス変化が少ない上、キャビティの形状に影響され難く、プラズマの着火性を改善したプラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法を提供する。
アンテナ管に設けたスリットにより、励起電界をこのスリット部分に集中させ、ガス流路管内を通過するガスを、スリット部分で効率的にプラズマ化することが可能となる。励起電界はプラズマ点火前後においても、常にスリット部分で生じており、従来のようにプラズマ点火前後におけるインピーダンスの変化も抑制することが可能となる。
用途利用分野 プラズマ発生装置、プラズマ溶射機、プラズマ反応装置、プラズマ洗浄装置、、医療用器具滅菌処理装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人 琉球大学, . 米須 章, . プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法. . 2009-07-30
  • H05H   1/24     
  • H05H   1/30     
  • H05H   1/46     

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