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微小変位計測方法及び装置

シーズコード S120007898
掲載日 2012年1月16日
研究者
  • 門野 博史
  • 小林 幸一
  • 高原 正博
技術名称 微小変位計測方法及び装置
技術概要 コヒーレント光源のレーザ光を被測定物体10の2点に照射し、その散乱光より得られるスペックル干渉画像から被測定物体の変位を求める微小変位計測装置は、被測定物体に照射する光線の位相を違えて第1の基準スペックル干渉画像と第2の基準スペックル干渉画像を作成する基準画像作成ステップを備える。微小変位計測装置は、測定対象のスペックル干渉画像を順次取得し、測定対象のスペックル干渉画像と第1の基準スペックル干渉画像または第2の基準スペックル干渉画像との間の位相差を統計的干渉計測法で求める対基準画像位相差算出部32、それぞれの測定対象のスペックル干渉画像について求めた位相差から、測定対象のスペックル干渉画像間の変位を表す位相差を求める変位位相差算出部33を備える。微小変位計測装置は、対基準画像位相差算出ステップで求める位相差が所定値より小さくなる前に第1の基準スペックル干渉画像及び第2の基準スペックル干渉画像を更新する基準画像更新部34を備える。基準画像の更新により、統計的干渉計測法を用いて微小変位を計測する際の測定レンジを拡大できる。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
展開可能なシーズ 統計的干渉計測法は、スペックル干渉画像の各画素におけるスペックル位相が-π~πの範囲で一様に分布する性質を利用して変位を計測するが、第2スペックル干渉画像と第3スペックル干渉画像との位相差が小さくなると、精確な測定ができず、変位計測が可能な範囲は、用いる光の波長の約1/2よりも小さな領域に制限される問題があった。そこで統計的干渉計測法の測定レンジの拡大できる微小変位計測方法を提供する。
対基準画像位相差算出ステップで求める位相差が所定値より小さくなる前に第1の基準スペックル干渉画像及び第2の基準スペックル干渉画像を更新することにより統計的干渉計測法を用いて微小変位を計測する際の測定レンジを拡大できる。
用途利用分野 微小変位計測装置、物体微小歪変位計測装置、植物成長変位計測装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, 株式会社東洋精機製作所, . 門野 博史, 小林 幸一, 高原 正博, . 微小変位計測方法及び装置. 特開2010-210399. 2010-09-24
  • G01B  11/16     
  • G01B  11/00     

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