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微細流路の形成方法

シーズコード S120007984
掲載日 2012年1月17日
研究者
  • 西岡 賢祐
  • 末藤 豪
技術名称 微細流路の形成方法
技術概要 基板10上にマスクパターン20を形成する工程と、貴金属微粒子30を基板10の露出部10aに塗布する工程と、基板10をエッチング溶液に浸漬してマスクパターン20をマスクとして基板の露出部10a下部の基板10をエッチングすることにより、基板10の表面に微細流路40を形成する工程とを含む微細流路40の形成方法である。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 微小反応装置、MEMS、バイオセンサなどに使用される液体輸送デバイスにおいては、液体の流路に凹凸構造を付与して、撥水性を付与する試みがなされている。基板表面にテーパー構造を形成することもできるが、流路のみに選択的に凹凸を形成することは困難である。そこで、基板表面に選択的に撥水性を有する微細流路を形成する手段を提供する。
簡便かつ低コストな方法で、基板表面に選択的に微細流路を形成することができる。形成される微細流路はナノサイズのテーパー構造となるため撥水性を示す。したがって、流路のパターニングと撥水性の付与とを同時に実現することが可能である。また、微細流路の形成は異方性エッチングにより行われるため、鋭いエッジを有する凹凸構造(微細流路)が得られる。さらに、エッチング中にマスクパターンが剥離したとしても、剥離箇所のエッチングが防止されるため、安価なマスク材料を使用することができ、低コストで高精度のパターンを形成することができる。
用途利用分野 半導体デバイス、基板、微小反応装置(マイクロリアクタ)、MEMS、バイオセンサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人 宮崎大学, . 西岡 賢祐, 末藤 豪, . 微細流路の形成方法. 特開2011-060846. 2011-03-24
  • B81C   1/00     
  • B81B   1/00     
  • G01N  37/00     

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