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X線反射装置及びその製造方法

シーズコード S120008074
掲載日 2012年1月19日
研究者
  • 満田 和久
  • 江副 祐一郎
  • 中嶋 一雄
  • 山口 ひとみ
技術名称 X線反射装置及びその製造方法
技術概要 このX線反射装置の製造方法は、シリコンウェハをドライエッチングして、複数の曲線状のスリットを形成する工程と、複数のスリットの各側壁を磁性流体を使った研磨して、X線反射面を形成する工程とを含む。こののX線反射装置の製造方法は、さらに、X線反射面の形成後に、シリコンウェハ全体を塑性変形して曲面状にする工程を含む。こののX線反射装置は、シリコンウェハと、シリコンウェハに同心円状に設けられた複数の曲線状のスリットと、各スリットの側壁をX線の反射が可能な程度まで平滑化して得られるX線反射面とを含む。この曲面状X線反射装置は、さらに、前記X線反射装置を、曲面を含む所定の形状に塑性変形したことを特徴とする。このX線光学装置は、曲面状X線反射装置を複数配置したことを特徴とする。このX線反射装置の製造方法は、X線LIGAプロセスで、複数の曲線状のスリットが形成された金属基板を形成する工程と、前記複数のスリットの各側壁を磁性流体を使って研磨した、X線反射面を形成する工程とを含む。
画像

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研究分野
  • X線技術
  • 宇宙線・天体物理観測技術
展開可能なシーズ 直線的なスリットを形成したX線反射装置の欠点を解消することのできるX線結像装置を提供する。
X線反射に必要な平滑度を有する曲面を含む所定の形状の反射面を含むX線反射鏡を一括して大量に製作することができるので、X線反射鏡の製作コストを大幅に下げることができる。また、特にシリコンウェハの場合は非常に薄くすることができるので、重量を大幅に下げることができ、重量制限が厳しい宇宙用途に好適である。
用途利用分野 天体観測用X線反射器、X線星観望遠鏡、X線微量分析装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構, 公立大学法人首都大学東京, 国立大学法人東北大学, 国立大学法人宇都宮大学, . 満田 和久, 江副 祐一郎, 中嶋 一雄, 山口 ひとみ, . X線反射装置及びその製造方法. 特開2010-085304. 2010-04-15
  • G21K   1/06     
  • G02B   5/08     
  • G02B   5/10     

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