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紫外近接場光学顕微鏡

シーズコード S120008111
掲載日 2012年1月19日
研究者
  • 田口 敦清
  • 早澤 紀彦
  • 河田 聡
技術名称 紫外近接場光学顕微鏡
技術概要 紫外近接場光学顕微鏡は、試料104にレーザー光を集光させてラマン散乱光を発生させるラマン散乱光発生手段、試料104に近接または接触させてラマン散乱光を増強し散乱させる先端が尖鋭なプローブ102、プローブ102による散乱光からラマンスペクトルを検出する検出手段を備える。レーザー光の波長は140nm~350nmであり、プローブ102の材料は、局在プラズモン共鳴が生じるために、レーザー光の波長において誘電率が-2以下の金属である。このような金属材料として、アルミニウムやロジウムがあり、アルミニウムは波長140nm以上、ロジウムは波長200nm以上に誘電率が-2以下のプラズモン共鳴領域があり、これらの材料をプローブ102に用いるか、プローブ102の表面を真空蒸着などの方法により被膜することにより、紫外・深紫外領域の局在プラズモンを発生できる。プローブ102は、真空蒸着により、シリコン製のプローブ102の表面にアルミニウム薄膜を形成して作製し、薄膜の膜厚を約25nmとして、付着するアルミニウムが直径10~20nmの粒状構造であることが好ましい。
画像

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研究分野
  • 光学的測定とその装置一般
展開可能なシーズ 近接場光学顕微鏡の使用できる波長域は、従来可視領域に限られ、紫外領域に吸収を持つ大部分の物質については,共鳴ラマン散乱を先端増強ラマン分光分析に適用できない。そこで紫外領域にも適用できる近接場光学顕微鏡を提供する。
レーザー光の波長において誘電率が-2以下の金属材料として、アルミニウムやロジウムをプローブに用いることにより、近接場光学顕微鏡を紫外領域に適用できる。
用途利用分野 紫外近接場光学顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人理化学研究所, . 田口 敦清, 早澤 紀彦, 河田 聡, . 紫外近接場光学顕微鏡および先端増強ラマン分光顕微鏡法. 特開2010-286397. 2010-12-24
  • G01Q  60/18     

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