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グラフェンシートの製造方法

シーズコード S120008472
掲載日 2012年1月31日
研究者
  • 橋本 明弘
  • 田中 悟
技術名称 グラフェンシートの製造方法
技術概要 耐熱性の作業基板を準備する工程と、グラフェンシートを構成する炭素の結晶構造と同様の結晶構造の炭素を含有するグラフェンシート形成面を、形成しようとするグラフェンシートの面積に応じた寸法で前記作業基板上の所定位置に位置決めする工程と、前記グラフェンシート形成面に、形成されたグラフェンシートの丸まりを阻止するCNT化阻止処理を施す工程と、前記グラフェンシート形成面を真空中又は所定のガス雰囲気中で加熱し、前記グラフェンシート形成面を構成する炭素以外の他の成分を除去する工程とを有し、前記加熱時間と前記加熱温度とを制御することで、前記グラフェンシート形成面に少なくとも一層のグラフェンシートを形成することを特徴とするグラフェンシートの製造方法。前記グラフェンシート形成面が、六方晶系結晶構造を有するSiCであり、前記CNT化阻止処理が、前記グラフェンシート形成面を0°を越え13°以下のオフ角を有するように形成したものであり、又は前記CNT化阻止処理が、水素雰囲気中で前記グラフェンシート形成面を加熱してなるステップバンチングであることを特徴とするグラフェンシートの製造方法。
画像

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研究分野
  • 炭素とその化合物
  • 無機化合物の薄膜
展開可能なシーズ 数百μm幅を越える大面積のグラフェンシートの製造が容易なグラフェンシートの製造方法を提供する。特に、グラフェンシート形成面の面積と同じ大きさの大面積のグラフェンシートの製造が可能なグラフェンシートの製造方法を提供する。
グラフェンシート形成面と同じ面積の大面積のグラフェンシートを得ることができ、グラフェンシートの大きさや形状の制御が可能である。また、グラフェンシート形成面を作業基板上の所定位置に位置決めすることで、グラフェンシートの位置を精密に制御することが可能である。
用途利用分野 グラフェンシート
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人福井大学, . 橋本 明弘, 田中 悟, . グラフェンシートの製造方法. 特開2009-062247. 2009-03-26
  • C01B  31/04     

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