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拡散面一点微小変位自動計測処理装置

シーズコード S120008488
掲載日 2012年1月31日
研究者
  • 松田 文夫
  • 西脇 彰
  • 浜田 泰裕
技術名称 拡散面一点微小変位自動計測処理装置
技術概要 干渉の生ずる場所にスクリーン6を配置し、干渉縞の明暗のパターンを映し出し、CCDカメラ7によりパソコン9に取り込む。CCDカメラ7からパソコン9に取り込まれた画像は、画像処理により同心円情報を抽出後、基準となる画像との比較を行い、差分を補正するように参照面駆動のPZT3に印加電圧を加える。印加電圧は、ヒステリシス特性によるグラフを基に制御する。測定面である拡散面と参照面からの反射光によって生じる同心円状の干渉縞を光学装置で読み取り、この画像データ上で円中心方向への沈み込みまたは円中心からの湧き上がりの移動量を算出して、これを相殺するように参照面を面垂直方向に変位させる。この変位させた量は測定面の面垂直方向の変位と同じであるので、この変位させた量を測定面の面垂直方向の変位として示す。
画像

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thum_2005-258340.GIF
研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
展開可能なシーズ レーザーを用いた微小変位計測では、規則性のある反射光を得るために測定物は鏡面である必要があるが、実製品の測定において、被測定物が鏡面であるという条件は非常に少なく、拡散面であることが多い。本発明は、加工中の製品の加工面の垂直方向の変位を非接触で高精度に自動計測することを可能とする。
被測定物が鏡面でない拡散面である加工中の製品の加工面の凹凸や面垂直変位を非接触で高精度に実時間で自動計測することが可能になる。
用途利用分野 微小変位自動計測処理装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立高等専門学校機構, . 松田 文夫, 西脇 彰, 浜田 泰裕, . 拡散面一点微小変位自動計測処理装置. 特開2007-071663. 2007-03-22
  • G01B  11/00     
  • G01B   9/02     

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