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薄膜試験片構造体、その製造方法、その引張試験方法及び引張試験装置

シーズコード S120008490
掲載日 2012年1月31日
研究者
  • 生津 資大
  • 長井 悠宰
技術名称 薄膜試験片構造体、その製造方法、その引張試験方法及び引張試験装置
技術概要 引張試験に用いられる薄膜試験片構造体1であって、試験対象部2a及びそれに連続する荷重伝達部2bが設けられた薄膜試験片2と、薄膜試験片2の試験対象部2aを除いた少なくとも一部を支持する支持部材3とを備える。支持部材3は、荷重伝達部2bに接合された試験片支持部3aと、薄膜試験片2と離隔した周囲に配置されたフレーム部3cとを有する。さらに、試験片支持部3aをフレーム部3cに対して引張方向に相対変位可能に連結する弾性連結部3d,3eとを有している。このように、薄膜試験片の荷重伝達部に支持部材の試験片支持部が接合されており、かつ、その試験片支持部が連結部によりフレーム部に対して引張方向に相対変位可能に連結されているので、薄膜試験片は、その引張方向の変位が許容されながらも捩れにくい構成となっている。したがって、薄膜材料からなる試験片を用いて正しい位置及び姿勢を安定保持しながら精度良く引張試験を行うことが可能となる。また、薄膜試験片は支持部材により安定して保持されているので、薄膜試験片のハンドリングが容易になり、薄膜試験片のハンドリング中における破損も防止することができる。
画像

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研究分野
  • 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 従来の、ゴム板などの試験片をつかみ具により把持した状態でX-Y方向に引っ張る二軸引張試験機では、微小な薄膜材料を対象としたものではないため、厚みがマイクロ・ナノレベルの剛性が極めて低い薄膜材料を試験片として適用しても、薄膜試験片が捩れて正しい位置及び姿勢に保たれないために、精度良い試験結果が得られず、最悪の場合には薄膜試験片が破れてしまうという問題がある。そこで、薄膜材料からなる試験片を用いて精度良く引張試験を行うことができるようにする。
アノードとカソードとが同一の基板上に形成され、基板の同一の面側にアノードとカソードとの双方が近接して形成されている。そして、アノードとカソードとの位置合わせを必要とせず、更には、電解質膜を用いることなく、燃料として燃料液、酸化剤としてガス状の酸化剤、又は酸化剤として酸化剤液、燃料としてガス状の燃料を用いて有効に発電することができる。
用途利用分野 引張試験装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 兵庫県, . 生津 資大, 長井 悠宰, . 薄膜試験片構造体、その製造方法、その引張試験方法及び引張試験装置. 特開2009-156725. 2009-07-16
  • G01N   3/08     
  • G01N   3/00     
  • G01N   3/04     
  • G01N   1/28     

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