TOP > 技術シーズ検索 > 可撓材料の露光装置および可撓材料の露光方法

可撓材料の露光装置および可撓材料の露光方法

シーズコード S120008578
掲載日 2012年2月3日
研究者
  • 堀内 敏行
技術名称 可撓材料の露光装置および可撓材料の露光方法
技術概要 吸着ブロック15により、感光性材料2を付した被露光材料1を保持し、被露光材料1に付した感光性材料2上の露光位置がレーザビーム9のスポット11に対して常に一定位置とする。吸着ブロック15には、感光性材料2を付した被露光材料1を真空ポンプ16により吸引する吸引口を設け、チューブ17で吸着ブロック15と真空ポンプ16を接続して感光性材料2を付した被露光材料1を吸引する。感光性材料2を付した被露光材料1を、吸着ブロック15に吸引保持しながら回転ステージ4および/またはXステージ6によって、矢印5および/または矢印7に示す方向に走査し、レーザビーム9のスポット11を、感光性材料2を付した被露光材料1上で相対的に走査すると、被露光材料1に付した感光性材料2を任意の形状に露光できる。被露光材料1を回転ステージ4、Xステージ6により動かしても、レーザビーム9のスポット11の照射場所の付近は、感光性材料2を付した被露光材料1が吸着ブロック15により吸着保持されて一定の位置姿勢を保つため、被露光材料1に付した感光性材料2上に照射されるレーザビーム9のスポット11の大きさや位置はほとんど変動しない。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2008-238636.gif
研究分野
  • 矯正
展開可能なシーズ 微小な直径を有して曲がり易い線材や、弾性係数(ヤング率)が低くて曲がり易い棒材などの可撓材料の表面にレジストなどの感光性材料を付し、感光性材料を所定の形状に露光するために用いる露光装置を提供する。
表面や内面に感光性材料を付した、片持支持すると大きく撓む直径の小さい被露光材料や、弾性係数(ヤング率)の小さい可撓材料からなる被露光材料や、元々真直ぐでない被露光材料1の露光箇所およびその周辺を吸着ブロックの表面に倣わせ、撓みを矯正して真直ぐに保持した状態で被露光材料を露光することができる。そのため、被露光材料の表面や内面に、所望の感光性材料のパターンを精度良く形成することができる。
用途利用分野 可撓材料露光装置、空気軸受溝、軸流ポンプ主軸、螺線構造体、スプライン軸、タービン、マイクロコイル、小径ボールナット、ボールスプラインナット
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京電機大学, . 堀内 敏行, . 可撓材料の露光装置および可撓材料の露光方法. 特開2010-049222. 2010-03-04
  • G03F   7/24     

PAGE TOP