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微粒子固定装置および微粒子固定方法

シーズコード S120008589
掲載日 2012年2月3日
研究者
  • 岩田 太
技術名称 微粒子固定装置および微粒子固定方法
技術概要 微粒子固定装置は、下面に電極層(電極部)12を形成したプレート部材11を備えている。プレート部材11の電極層12側には、微粒子Pが分散した水層Wを介して、対向状に基材WKを配置する。基材WKは、微粒子Pからなる薄膜Fを形成する部材である。また、電極層12に微粒子Pの帯電極性と同じ極性の電位を印加し、基材WK側には微粒子Pの帯電極性とは逆の極性の電位を印加させて、水層W内に電界を発生させることにより、水層W中の微粒子Pを、基材WKに向けて移動させて、基材WKの表面に固定するための電界形成手段(電気配線14a,14bや電圧印装置44等)を備えて構成する。また、基材WKを、不導体的性質と導体的性質に選択的に変化する電気的特性を備えた物質で構成し、その特性変化手段として、ハロゲンランプ25設けて、基材WKに光を照射することによって不導体的性質から導体的性質に変化するように構成することができる。また、レーザ光を出射するレーザ光源32を設け、出射したレーザ光を、対物レンズ31から水層W内に照射して、水層W内の微粒子Pの状態を観察可能とするように構成することもできる。他に、微粒子固定方法の発明がある。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 電気化学的操作・装置一般
  • コロイド化学一般
展開可能なシーズ 基材に対して負担の少ない液体環境下において微粒子を固定することができ、幅広い種類の基材の表面に対してパターニングや膜の形成を行う加工などにも適用することができる微粒子固定装置および微粒子固定方法を提供する。
基材の表面に微粒子を固定させる工程における、液体(水層)は、基材と電極部材との間に電界が形成可能で、同液体内において微粒子の移動が可能であれば、特に限定されるものではない。このため、基材に与える影響の小さい液体を用いることができる。これにより、従来技術のように、基材を過酷な環境下に曝すことがない。また、微粒子固定装置は、特殊な環境を用意する必要がなく簡単な構成にすることができるため経済的効果、作業性の向上は大きい。基材として、不導体的性質と導体的性質とが選択的に変化する電気的特性を備えた物質で構成することにより、基材の表面における任意の位置に微粒子を選択的に固定することができる。また、レーザ光を液体内に照射することにより液体(水層)内の微粒子の状態を観察することが可能となり、所望する位置に所望する量だけ微粒子を固定することができる。
用途利用分野 微粒子パターニング装置、電子デバイス製造装置、集積回路パターニング装置、MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人静岡大学, . 岩田 太, . 微粒子固定装置および微粒子固定方法. 特開2009-006311. 2009-01-15
  • B01J  19/12     
  • B82B   3/00     
  • B01J  19/08     
  • C25D  15/00     

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