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カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置

シーズコード S120008590
掲載日 2012年2月3日
研究者
  • 井上 翼
技術名称 カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置
技術概要 化学気相成長法により、昇華した塩化鉄と炭化水素のガスとが気相反応することで基板表面の酸化ケイ素の部分にカーボンナノチューブが垂直配向する。CVD装置10は電気炉12を備え、電気炉12内には石英管14が通され、石英管14の周囲にはヒータ16、熱電対18が設けられている。石英管14の一方には、ガス供給部22が接続され、石英管14の他方には圧力調整バルブ23及び排気部24が接続されている。ガス供給部22、圧力調整バルブ23及び排気部24は制御部20によって制御される。排気部24により石英管14内を真空排気し、ヒータ16により石英管14内を触媒26が昇華する温度に昇温させてから、ガス供給部22によりアセチレンガス30を石英管14に流入させる。これにより触媒26とアセチレンガス30とが気相反応し石英基板28上にカーボンナノチューブが垂直配向する。
画像

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研究分野
  • 炭素とその化合物
  • 気相めっき
展開可能なシーズ 簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造方法及び製造装置を提供する。
基板上に金属膜を形成する必要がなく、管内に供給するガスも炭化水素以外の他のガスをブレンドする必要がないので、簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができる。
用途利用分野 カーボンナノチューブ、カーボンナノチューブ製造装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人静岡大学, . 井上 翼, . カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置. 特開2009-196873. 2009-09-03
  • C01B  31/02     

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