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膜厚分布測定装置

シーズコード S120008602
掲載日 2012年2月6日
研究者
  • 福澤 健二
  • 吉田 智彦
技術名称 膜厚分布測定装置
技術概要 エリプソメトリー顕微鏡1は、光源2と偏光子5と位相補償子6と対物レンズ8とを備え試料Sを所定角で照明する斜め照明系を備える。さらに、対物レンズ8と結像レンズ15と検光子16とにより試料Sを撮像装置17の検出面18に検出する結像系とを備える。そして、結像レンズ15の前側焦点面を対物レンズ8の後側焦点面に一致させるとともに、結像レンズ15の後側焦点面を検出面18に一致させ平行光として投射する。そして、結像系により検出面18に試料Sの散乱光による像を結像させることにより、高倍率でかつコントラストの高い膜厚分布の差を測定できる。
画像

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研究分野
  • 偏光測定と偏光計
展開可能なシーズ 薄膜の微小構造を高いコントラストで観測でき、かつ膜厚を定量的に測定することができる、膜厚分布測定装置を提供する。
斜め照明系と結像系とを、同じ対物レンズを共用して構成し、平行光による斜め照明と対物レンズの光軸を被写体である試料に対して垂直に配置することの両立を可能としたため、対物レンズと試料とを極めて接近させることができ、試料の微小な膜厚分布を高いコントラスト、定量観測、広い視野、および高い倍率の全てを同時に実現することができる。
用途利用分野 膜厚分布測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人名古屋大学, . 福澤 健二, 吉田 智彦, . 膜厚分布測定装置. 特開2009-192331. 2009-08-27
  • G01B  11/06     

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