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対象物表面の欠陥検査方法

シーズコード S120008765
掲載日 2012年2月13日
研究者
  • 脇迫 仁
技術名称 対象物表面の欠陥検査方法
技術概要 撮像用のカラーカメラ1を対象物2の上方に設置し、照明装置3とハーフミラー4による同軸落射照明と、照明装置7による斜光照明を設置し、照明装置3と照明装置7の波長を異ならせる。それぞれの照明を検査対象物2の表面に同時に照射した時のカラー画像20をカラーカメラ1により取得し、カラー画像20をそれぞれ赤成分の画像21、緑成分の画像22、青成分の画像23に分離する。処理部24において対象物2を照らす照明の色成分について赤成分、緑成分、青成分から計算することによって、それぞれの照明を単独で対象物2を照らしたときのふたつの画像25と画像26を得る。対象物のカラー画像から部品マークとマーク以外の領域、及び欠陥部の領域の濃淡値に関する2次元的分布から、欠陥部のみの領域を判別する。
画像

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thum_2007-081132.GIF
研究分野
  • 計測機器一般
展開可能なシーズ 照明条件を工夫することにより、1枚のカラー画像を処理することによって撮像時間が短くなり、また欠陥検出処理においては、予め正常な部品の画像を登録する必要がなく、部品即ち対象物の表面の欠陥を検出することができるようにする。
異なる照明手段によって照らした対象物の一枚のカラー画像を用いることにより、撮像時間を減らすことができ、更に、カラー画像から個々の照明手段によって照らした場合の画像を計算し、これらの濃淡値を利用することによって、一つの照明手段による画像に比べ、対象物の表面の欠陥の検出が容易に実現できる。また、この対象物表面の欠陥検査方法では、同軸落射照明と斜光照明によって対象物の表面の欠陥を検出できる。更に、予め異なる画像手段によって得られた欠陥の画像の濃淡値を参照テーブルとして利用することによって、演算処理無しで高速に対象物の表面の欠陥を検出することができる。
用途利用分野 表面欠陥検査装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人九州工業大学, . 脇迫 仁, . 対象物表面の欠陥検査方法. 特開2008-241408. 2008-10-09
  • G01N  21/84     

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