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位相回復方式の電子顕微鏡による観察方法

シーズコード S120008782
掲載日 2012年2月15日
研究者
  • 柿林 博司
  • 郷原 一寿
技術名称 位相回復方式の電子顕微鏡による観察方法
技術概要 位相回復方式の電子顕微鏡において、実像モードの場合、電子銃4からの電子線1は、コンデンサー絞り5によって小さな照射角度を有する部分のみにカットされ、さらに対物レンズ7によって細い電子線1に収束される。電子線1は、走査コイル14によって試料3の電子線照射領域2に走査しながら照射されるので走査領域全体では従来技術よりも明るい電子線照射が達成でき、また、電子線照射領域2内のどの場所でも同一強度を有する電子線を照射するので、均一な電子線照射も達成できる。電子線照射領域2で散乱され透過した電子線は、対物レンズ(後磁場)を介して撮像素子11で検出される。撮像素子11で検出された電子線の強度を走査コイル14の走査と同期してモニター17に表示して画像化する。電子回折像モードの場合、電子線1は、コンデンサー絞り5によって均一な明るさを有する部分のみにカットされる。試料3の直上には、微小制限視野絞り15を、配置する。孔の形状は、電子線照射領域と一致している。電子線照射領域2で散乱、回折した後に透過した電子線は、撮像素子11上に電子回折像を結像する。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 実像と電子回折像を観察する場合に、試料に照射する電子線は微小径かつ平行であるという条件の他に、明るさとその均一性が重要である。明るさは、実像や電子回折像を撮像デバイスで記録する時の露光時間や試料の観察視野を探す時の操作性に影響する。実像と電子回折像を測定する際の微小径かつ平行な電子線を、明るくかつ均一な強度分布にする位相回復方式の電子顕微鏡による観察技術を提供する。
実像と電子回折像を測定する際の微小径かつ平行な電子線を明るくかつ均一な強度分布にすることができ、試料への電子線露光時間の短縮や観察視野探索の操作性向上が達成でき、また、実像の明るさむらを低減できる。さらに、この方法で測定した実像と電子回折像のデジタルデータを、位相回復アルゴリズムを用いて演算処理することにより、測定した実像よりも高分解能かつ高精度な実像を再生することができる。
用途利用分野 位相回復方式電子顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 株式会社日立製作所, 学校法人北海道大学, . 柿林 博司, 郷原 一寿, . 位相回復方式の電子顕微鏡による観察方法. 特開2006-331901. 2006-12-07
  • H01J  37/26     
  • H01J  37/22     

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