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電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡

シーズコード S120008799
掲載日 2012年2月15日
研究者
  • 郷原 一寿
技術名称 電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡
技術概要 電子顕微鏡10の入射系100は、平行な電子線を試料に照射し、電子線を発生する電子源110と、レンズ系120とを有する。平行照射用レンズ系120は電磁レンズで構成されている。電子線は、平行照射用レンズ系120によって平行な電子ビームとなり、試料系200に照射される。試料系200は、サポート用スリット210と、試料220とを有する。サポート用スリット210の強度分布および位相分布は、位相回復法における実空間拘束条件として付与される。試料220は、試料台に載置される。検出系300は、試料からの回折波の強度を計測し、対物レンズ310と、コース検出器320と、ファイン検出器330とを有する。ここで、コース系は、物理的な対物レンズ310によって、空間分解能が比較的低い像を得、ファイン系は、物理的な対物レンズを用いることなく、回折波の強度を用いて位相回復法によって高い空間分解能を得る。コース系とファイン系を両方備えることで、コース系で得られた低分解能の実空間像をファイン系の位相回復の拘束条件として用い、高分解画像を得る。計算機系400は、回折波の強度をもとに位相回復法を用いて物体の像を再構成する。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 平面波を物体に入射し、物体からの回折像をもとに、実空間と逆空間でフーリエ変換を繰り返すことにより物体の実像を得る方法は、位相回復法と呼ばれ、原理的には入射波の波長オーダーの空間分解能が得られる。位相回復法を電子顕微鏡に適用した場合、加速電圧によって決まる電子のド・ブロイ波長の空間分解能が期待される。位相回復法の原理にのっとって高分解能化を実現することができる電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡を提供する。
本発明によれば、位相回復法の原理にのっとって高分解能化を実現することができる電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡を得ることができる。
用途利用分野 電子顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人北海道大学, . 郷原 一寿, . 電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡. . 2008-03-27
  • H01J  37/295    
  • H01J  37/26     
  • H01J  37/22     

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