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超電導磁気浮上による非接触搬送装置

シーズコード S120008847
掲載日 2012年2月16日
研究者
  • 小森 望充
技術名称 超電導磁気浮上による非接触搬送装置
技術概要 超電導磁気浮上非接触搬送装置では、複数の永久磁石(16)~(19)が底部に設けられ、搬送対象物(11)を運ぶ搬送台(12)と、搬送台(12)の各永久磁石(16)~(19)の直下に配置される超電導体(20)を備えた搬送案内手段(13)と、搬送案内手段(13)に設けられて、搬送台(12)と搬送案内手段(13)との距離を検知する距離センサ(21)と、搬送案内手段(13)に設けられて、通電によって搬送台(12)を制振するための磁界を発生させる制振コイル(25)と、距離センサ(21)の信号によって搬送台(12)の振動を検知し、制振コイル(25)に流す電流を制御する制御部(27)とを有する。これによって、超電導磁気浮上によって非接触で搬送している搬送対象物(11)等に外乱があっても、短時間のうちにその振動が収まり、安定して搬送対象物(11)を搬送可能な超電導磁気浮上による非接触搬送装置(10)を提供できる。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 超伝導応用装置
展開可能なシーズ 超電導磁気浮上によって非接触で搬送している搬送物(具体的には搬送台)又は超電導体に外乱があっても、短時間のうちにその振動が収まり、安定して搬送物を搬送可能な超電導磁気浮上による非接触搬送装置を提供する。
超電導磁気浮上による非接触搬送装置は、非接触状態で物体を搬送可能であるので、例えば、異なる雰囲気及び/又は温度条件にあるチャンバー内にある物体や物質を外部から動かすことができ、チャンバー内にある半導体素子やその部品等の移動や搬送、又は無菌室等での試料や細菌の搬送に特に有効に利用できる。また、搬送台に載った搬送対象物が浮いているので、外部からの振動に対して影響を受けることが少なく、搬送途中に外部から振動があっても、搬送対象物に伝わる振動を抑制しながら搬送できる。更に、制振コイルに流す電流を制御することによって搬送台に載った搬送対象物を上下動させることもでき、従って、搬送台の水平移動と合成すると、搬送対象物の三次元空間移動が可能となる。
用途利用分野 超電導磁気浮上装置、半導体製造用搬送装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人九州工業大学, . 小森 望充, . 超電導磁気浮上による非接触搬送装置. . 2008-06-12
  • B60L  13/04     
  • B61B  13/08     
  • B65G  49/00     
  • B61F   3/00     
  • B65G  49/07     
  • B65G  54/02     
  • H01L  21/677    

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