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原子状水素定量方法およびその装置

シーズコード S120008848
掲載日 2012年2月16日
研究者
  • 並木 章
  • 和泉 亮
  • 鶴巻 浩
技術名称 原子状水素定量方法およびその装置
技術概要 原子状重水素発生装置24から発生する原子状重水素をセンサー室12に導入し、センサー基板14に原子状水素を照射する。センサー基板14を加熱機構16で加熱した状態で、原子状重水素を含む測定対象ガスあるいは除去対象の原子状水素を含む雰囲気ガスをセンサー室12に導入する。これらの、原子状水素発生装置と原子状水素定量装置10を、測定対象ガス導入部20を介して接続し、原子状水素発生装置の原子状水素を含むガスをセンサー室12に導入し、加熱されたセンサー基板14をこのガスに曝露させる。原子状水素は原子状重水素との反応で消費される。原子状水素を照射されたセンサー基板14を加熱機構16で照射時の温度よりも高い温度に加熱して、脱離する重水素あるいは重水素化合物(HD)の強度を質量分析装置26で測定し、センサーに残存する原子状重水素量を算出する。そして、質量分析装置26に組み込まれた、予め求めておいたセンサー基板14に対する原子状水素照射量とセンサー基板14に残存する原子状重水素量との質量分析による強度の相関関係データに基づいて、原子状水素を定量する。
画像

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研究分野
  • 質量,密度,比重の計測法・機器
展開可能なシーズ 基板の表面洗浄技術が注目を浴びており、また、薄膜堆積過程において、原料材料から発生する原子状水素が半導体デバイスの性能を決定することが明らかにされている。本発明は、原子状水素の定量を簡便かつ正確に行うことができる原子状水素定量方法およびその装置を提供する。
初期条件に調製したセンサーを原子状水素を含む雰囲気に曝露して原子状重水素等を脱離させ、原子状重水素等の定量結果に基づいて雰囲気中の原子状水素の定量を行うので、雰囲気中の原子状水素の定量を簡便かつ正確に行うことができる。
用途利用分野 原子状水素定量装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 九州工業大学, . 並木 章, 和泉 亮, 鶴巻 浩, . 原子状水素定量方法およびその装置. .
  • G01N  27/62     

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