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超音波モータ

シーズコード S120009037
掲載日 2012年2月23日
研究者
  • 國井 康晴
  • 飯塚 浩二郎
  • 矢野 良平
技術名称 超音波モータ
技術概要 超音波モータのロータ12の接触面12aに、シリコンの非晶質薄膜から成る下地層14aとこの下地層14aの表面に形成される銀薄膜から成る摩擦層14bとを有する、適度な摩擦係数を有し、かつ、潤滑性にも優れた摩擦材層14を形成することで、ステータ11の弾性体15に設けられた櫛歯15kとロータ12との接触によって発生するロータ12表面及びステータ11表面の凹凸を大幅に低減するようにした。
画像

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研究分野
  • 電動機
展開可能なシーズ 超音波モータを高真空中で駆動した場合、ステータとロータが凝着摩擦を起こして表面に凹凸が現れ、摩擦力は一層大きくなり、ロータの回転数が急激に低下する。従来の潤滑剤では、この凝着摩擦を防止できず、高真空中で十分な耐久性能を確保することは困難であった。そこで、高真空中においても優れた耐久性能を有する超音波モータを提供することを目的とする。
本発明によれば、ステータ又はロータが接触面に摩擦材層を備え、摩擦材層がシリコン又は炭素の結晶質薄膜又は非晶質膜からなる下地層と、下地層の表面に形成される摩擦層とを有し、この摩擦層が銀薄膜であることにより、適度な摩擦係数を有し、潤滑性に優れた摩擦材層を形成することができる。さらに、銀薄膜は、放射線の長時間被曝によっても変質しないので、宇宙環境下でも、長寿命化を図ることができる。また、シリコンの非晶質薄膜の表面を水素終端化処理したので、摩擦材層の摩擦係数を更に小さくできる。また、下地層と摩擦層とを真空蒸着法により作製するようにしたので、簡単な設備で摩擦材層を効率よくかつ容易に作製できる。
用途利用分野 超音波モータ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人 中央大学, . 國井 康晴, 飯塚 浩二郎, 矢野 良平, . 超音波モータ. 特開2010-158083. 2010-07-15
  • H02N   2/00     

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